x波段五位mems分布式移相器研究电路与系统专业论文.docxVIP

ABSTRA(了rABSTRACT ABSTRA(了r ABSTRACT Microwave phase shifter can shift the phase of electromagnetic wave，it is widdy applied in dectronic communication system，and further，it is the key module of phased array antenna,synthetic aperture radar，radar electronic countermeasure，satellite communication and transceiver．Thus phase shifter winl high capability plays an important role in the systems above．The significant challenge in designing conventional phase shifter is minimizing size and loss while preserving best phase precision，which is more obvious and urgent as the communication technology evolves enormously lately．However，MEMS phase shifter，a hot research field，overcomes these disadvantages due to some excellent capabilities，such as high quality factor,low loss and high isolation． Based 011 the analysis above，this thesis chooses the basis element of phase shifter as the research subject and gives a deep analysis on the electromagnetic and electrostatic—mechanical performance．The main content Can be concluded as follows： 1．The mierostructttres and properties of MEMS phase shifter are investigated in details． 2．The working principle of X-band MEMS distributed phase shifter is discussed． 3．The basis switch element composing X-band MEMS distributed phase shifter is fully studied and optimized． 4，X-band MEMS distributed phase shifter is designed and simulated from aspects of electromagnetic and electrostatic-mechanieal． Keywords：X-band，MEMS，Distributed Phase Shifter U 独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 签名： ．毯堕盘 日期：如l驴年岁月7 IZI 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后应遵守此规定) 签名：盗噬尘 导师签名：羔泌 日期：≯，’年f月7日 第一章绪论第一章绪论 第一章绪论 第一章绪论 1．1移相器的研究背景 移相器是能改变电磁波相位的器件，它是无线通信系统中的基本部件，是构 成相控阵雷达、微波毫米波接收发机的关键单元，