原位X射线光电子能谱仪采购内容及项目要求.doc-山东大学.doc

采购内容及项目要求 一、项目概况 因教学及科研需要，化学与化工学院需要采购原位X射线光电子能谱仪系统一套。 本项目共分为1个包。允许投标人投报原装进口设备，投标人不得对所投货物和服务分解后进行响应。本项目预算为人民币749.735万元（包含外贸相关费用）。 二、采购内容及采购数量 山东大学仪器设备采购技术条款一览表 采购人要求 配置序号 配置名称 详细技术参数要求 数量 1 X射线光电子能谱仪 （1）整套系统中应具备XPS（包含成像）、离子深度刻蚀（氩离子刻蚀枪、团簇刻蚀枪）、ISS离子散射谱、反射电子能量损失谱REELS、反光电子能谱（IPES）（ISS、REELS、IPES三者选配其二）、UPS紫外光电子能谱、超高真空测量装置功能和实现这些功能的部件； （2）可进行有机、无机、金属等各种材料的表面几个原子层（1-10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性的分析与表征； （3）可进行样品原位（低温、高温、高压、反应气氛下）处理后的XPS测试。 1 1.1 真空系统 分析腔室和进样腔室及其真空系统 ★（1）分析腔室与进样腔室为完全独立的两腔室，有闸板阀隔开。? （需提供证明资料） ★（2）分析室： 材质和真空：真空腔为纯μ金属制造，真空度优于7.0×10-10 mbar； 独立机械泵：极限真空气压1.0 × 10-4 mbar； 独立分子涡轮泵：极限真空气压7.0×10-10 mbar； 钛升华泵：抽速 600 L/s； 配低高温样品台，可低温高温测试，温度范围：-140-800 oC。 ★（3）进样及样品处理室： 真空度：真空度应优于7.0×10-8 mbar； 泵组：配备独立的涡轮分子泵和机械泵，不可与分析腔共用，防止交叉污染。 （需提供证明资料） （4）进样系统为磁浮式无摩擦进样杆，或使用自动进样的机械手臂，设计应避免长期使用后出现的机械劳损和间隙误差。 ★（5）超高真空检测装置：各独立超高真空舱室均配置超高真空离子规一套，可以在各舱各自隔断情况下独立实施监测真空度。 （需提供证明资料） 1.2 样品操控系统平台 样品台及移动转移仓 （1）样品台：轴向：5轴样品台，即X、Y、Z移动，倾斜及旋转；移动范围应保证系统提供的各项分析有足够空间转移范围完成，并有一定的余量空间保证最佳分析位置，包括对样品位置特别敏感的角分辨XPS，微区XPS全样品范围成像。? （2）移动：通过样品台驱动部件，可以对样品位置进行远程自动控制，对位置、角度控制精度达到1 um、0.1 o。 （3）附带便携式不锈钢传递仓一套，可将合成环境为离线的样品可远程无污染真空传递至XPS制备腔室内进行分析； 传递仓连接主机位置：进样室。 1.3 电子能量分析器 采谱与能量分析系统 （1）类型：180 °双聚焦半球形或扇形分析器， μ金属材质。 （2）平均半径：= 150mm。 （3）通能：5-320 eV可调。 （4）操作模式：针对采谱与成像，具有固定分析器传输模式和固定减速比模式。 （5）能量分析范围：0-3200 eV。 1.4 ★静电透镜和磁透镜 配置磁透镜或者静电传输透镜；针对配备磁透镜的仪器，磁透镜可在操作时关闭，可保留静电透镜独立工作模式。 1.5 Al Kα单色化XPS （1）射线源类型：单色化Al靶射线源。 （2）单色器：石英晶体单色器；单色化光源阳极靶，如使用单一Al Kα靶源，靶点不少于16个。 （3）能量分辨和灵敏度(Ag 3d5/2)： 普通模式测试，对Ag 3d5/2峰，半峰宽（FWHM）≤0.45 eV，能进行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、角分辨XPS。 1.6 双阳极XPS靶源 两种方案提供其一。 方案一：高能单色Ag Lα射线源 单色器：500 mm罗兰圆，大背板水冷一体式石英晶体单色器；能量分辨和灵敏度(Ag 3d5/2) 300×700 μm XPS：0.90 eV @ 6kcps； 方案二：?Al/Mg双阳极 Mg阳极对于Ag 3d5/2 灵敏度≥1 Mcps @ 1.40 eV； 1.7 束斑 最小束斑尺寸=20 μm，束斑一定范围内连续可调，可应对大面积和微区分析需求。 1.8 电子检测器 （1）采用灵敏电子检测器，通过傅立叶变换或小束斑扫描成像。 （2）宽/窄扫描谱：顺序能量扫描。 1.9 样品观察和调整 （1）可变焦显微摄像机显示系统，能清楚观察样品图象，图像可实时显示及储存。分析室需具备方便的观察视窗，并装有防X射线玻璃。 （2）在分析室使用多样品停放台：一次可装入并存储多个样品。 1.10 荷电中和系统 （1）结构及操作方式：离轴低能离子/电子枪的同源双束中和；或采用低能准直电子束与低能准直离子束；或采用静电传输透镜同轴的超低能单电子源方式； 适用于所有不导电样品及粗糙表面