umbirfpa的计算机仿真及非均匀性校正研究精密仪器及机械专业论文.docxVIP

重鏖盔堂堡主堂垡鲨塞——————————主塞±§至中文摘要 重鏖盔堂堡主堂垡鲨塞——————————主塞±§至 中文摘要 非致冷微测辐射热计红外焦平面阵列(UMBIRFP_A)是当代信息科 学技术中红外技术学科的具有带动性的学科研究前沿之一。论文从 红外技术、红外探测器和UMBIRFPA的历史、现状到发展趋势进行 了比较全面的阐述。介绍了包括UMBIRFPA在内的红外探测器在军 事及民事中的应用，重点描述了UMBIRFPA在民用上的广阔前景。 UMBIRFPA的研制涉及到器件原理研究、红外材料的研制、微 机械制造技术、低功耗信号读出技术、信号处理技术、红外成像技 术、器件封装技术等方面。本文以对微测辐射热计工作原理的研究 为基础，建立了UMBIRFPA的物理模型，对微测辐射热计进行了计 真，并着重对UMBIRFPA的非均匀性问题进行了深入的研究。 测辐射热计是UMBIRFPA的核心部分，它是把红外辐射转换 变化再转换为电学量变化的象元单位。论文研究了微测辐射 热计的结构与工作原理，并详细分析了红外辐射、传播、成像、吸 收，给出了热平衡过程的计算方法。由于微测辐射热计在施加偏置 电压的情况下，电热效应与红外辐射的共同作用使它表现出与其他 红外探测器完全不同的一些特征，文中给出了响应率、噪声、噪声 等效功率、噪声等效温差、光学增益、探测率等参数的计算方法， 这些参数中的部分是微测辐射热计独有的，或者与其他的红外探测 器的同一参数有所区别。 非均匀性是任何焦平面阵列中必须解决的一个重要问题，而 UMBIRFPA的非均匀性问题更为突出，尤其特别的是它受UMBIRFPA 衬底温度的影响非常严重。如果要用传统的两点校正法来校正，必 须采用昂贵的恒温系统，而且增加了系统的复杂程度。文中分析了 UMBIRFPA的非均匀性受村底温度影响的原因，计算了衬底温度对 非均匀性影响的大小，提出采用三点非均匀性校正新方法来克服衬 底温度的影响，并分析了这种新方法的原理、实现方案和校正系数 的获取流程。新方法使得对村底温度控制变化范围的要求从0．01K 降低到5K左右，因此控温更方便并且温度控制的方法可以从制冷改 变为加热，这样可以大大降低系统的成本和复杂程度。 UMBIRFPA是一种新型的红外探测器件，微测辐射热计的工作 原理复杂，其性能受到很多因素的影响，目前国内尚处于发展初期， 缺少实际的设计经验和理论认识，同时UMBIRFPA又是在集成电路 工艺线上生产的，投资大、周期长，如果设计不当。不仅可能导致 重庆大学博士学位论文 重庆大学博士学位论文 中文摘要 灵敏度降低、动态范围缩小、噪声增大、非均匀性增大等问题，更 可能的是根本就不能用于成像，从而造成很大损失。本论文根据 UMBIRFPA的原理，建立它的软件仿真系统，它可以根据给定的结 构、环境、电路设置等参数首先模拟光热、热电转换过程，并可根 据电路结构，模拟校准、参数调节并读出信号，给出读出电流和电 压、光学增益、光学增益比、非均匀性等各特征量的定量变化过程， 预测制成后器件的各种性能参数。因此通过对该模型的仿真，可以 帮助人们认识微测辐射热计的原理与规律，分析设计过程中的不合 理因素，检验各种设计方案，确定某些参数的最佳设置，以减少研 制过程的时间和费用。 、／ 最后论文还给出了UMBIRFPA中部分相关电路的设计方案力 ， 关键词：非致冷，微测辐射热计，红外焦平面阵列，非均匀性校正， 计算机仿真 U 重庆大学博士学位论文 重庆大学博士学位论文 Abstract Abstract The uncooled microbolometer infrared focal plane arrays(IRFPA)is the leading edge ofresearch on infrared technology in information science today．In this paper,the history,present status and trend in development of infrared technology, infrared detectors and UMBIRFPA were rounded represented．The military and civil applications of UMBIRFPA were introduced．Especially,much prospect of UMBIRFPA is described． There are variOUS techniques involved in the development of UMBIRFPA．such as principle of the device，micro—m