飞秒激光功率与脉冲数的比例关系对制备硅表面微结构的影响.PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 激 光 ， ３８ １２ Ｖｏｌ．３８ Ｎｏ．１２ 　 　 　 　 年 月 ， ２０１１ １２ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛 犇犲犮犲犿犫犲狉 ２０１１ 飞秒激光功率与脉冲数的比例关系对制备硅 表面微结构的影响 彭 滟 温 雅 张冬生 陈宏彦 罗士达 陈 麟 徐公杰 朱亦鸣 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （上海理工大学光电信息研究院，教育部光学仪器与系统工程中心，上海 ２０００９３） 摘要 通过使用两种不同波长的飞秒激光脉冲分别与硅材料相互作用，证明了在相同的激光通量下，激光功率和 　 脉冲数之间的比例将对硅表面微结构的形成起决定性作用。在飞秒激光与硅表面相互作用的过程中，脉冲数表征 激光与样品之间的作用时间长短，决定了能量传递到材料内部的深浅程度；而激光功率则表征硅表面材料的消融 与挥发程度。因此，恰当地选择激光功率和脉冲数能有效形成表面具有较高尖峰的微结构硅，从而获得在宽光谱 范围内均具有高吸收效率的微纳硅基光伏材料。这一结果对表面微结构材料的有效制备、表面形态控制，及其相 应的光电属性等都有着重要的意义。 关键词 激光技术；硅；微结构；飞秒激光脉冲；吸收 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４３６ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犆犑犔２０１１３８．１２０３００５ 　 　　　 　 　　　 犈犳犳犲犮狋狅犳狋犺犲犚犲犾犪狋犻狅狀犫犲狋狑犲犲狀犉犲犿狋狅狊犲犮狅狀犱犔犪狊犲狉犘狅狑犲狉犪狀犱犘狌犾狊犲 犖狌犿犫犲狉犳狅狉犉犪犫狉犻犮犪狋犻狀 犛狌狉犳犪犮犲犕犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲犱犛犻犾犻犮狅狀 犵 犘犲狀 犢犪狀 犠犲狀犢犪 犣犺犪狀 犇狅狀狊犺犲狀 犆犺犲狀犎狅狀 犪狀 犔狌狅犛犺犻犱犪 犆犺犲狀犔犻狀 犵 　 　 犵 犵 犵　 犵狔 　 　 犡狌犌狅狀 犻犲 犣犺狌犢犻犿犻狀 犵犼　 犵 （ ， ， 犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犚犲狊犲犪狉犮犺犆犲狀狋犲狉狅犗狋犻犮犪犾犐狀狊狋狉狌犿犲狀狋犪狀犱犛狊狋犲犿 犕犻狀犻狊狋狉 狅犈犱狌犮犪狋犻狅狀 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犗狋犻犮犪犾犈犾犲犮狋狉犻犮犪犾 犵 犵 犳 狆 狔 狔 犳 犳 狆 ， ， ， ） 犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅犛犺犪狀犺犪犻狅狉犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅 犛犺犪狀犺犪犻２０００９３ 犆犺犻狀犪 犵 犵 狔 犳 犵 犳 犵狔 犵 犃犫狊狋狉犪犮狋 犅 狌狊犻狀 犳犲犿狋狅狊犲犮狅狀犱犾犪狊犲狉 狌犾狊犲狊狑犻狋犺狋狑狅犱犻犳犳犲狉犲狀狋狑犪狏犲犾犲狀狋犺狊狊犲