用有限元方法计算X光源场发射阴极电流.pdf

第 12 卷 　第 2 期 光学 精密工程 Vol . 12 　No . 2 2004 年 4 月 　　 　　　　　　 　　　　　　Optics and Precision Engineering 　 　 　 　 　 　 　 　　Apr . 2004 　　　　 　 ( ) 文章编号 　1004924X 2004 用有限元方法计算 X 光源场发射阴极电流 解 　滨 , 陈　波 , 韩邦诚 , 尼启良, 巩 　岩 ( 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 , 吉林 长春 130033) 摘要 :针对场致发射阵列建立了有效的三维有限元模型来分析单个尖锥的发射电流 。考虑到场致发射阵列的周期性和 尖锥的轴对称性 ,仅对一个尖锥单元的 1/ 4 进行分析 。对模型的表面施加电压边界条件 ,计算得到尖锥表面电场强度分 布 , 电场强度在尖锥顶点最强 ,场发射电流在此处也最强 。由FowlerNordheim 函数可得到尖锥表面的场致发射电流密度 μ 分布 ,对整个尖锥表面进行积分后得到了单个尖锥的场致发射电流约为 7 A 。计算了在 100 V 门电压下不同顶端半径 的场致发射电流 。结果显示 ,场发射对顶端半径有很强的依赖性 。计算了 100 个顶端半径为 8 nm 的尖锥在不同门电压 下的总场致发射电流 ,发射电流与开启电压与实际测量值符合得很好 。 关 　键 　词 :场发射阴极 ; 有限元 ; FowlerNordheim 函数 ;spindt 型阴极 中图分类号 :TN14 　　文献标识码 :A Calculation of fieldemission for miniature Xray source with finite element method XIE Bin , CHEN Bo , HAN Bangcheng , NI Qiliang , GON G Yan ( State Key L ab of App lied Op tics , Changchun Institute of Op tics , Fine Mechanics and Physics , Chinese Academy of Sciences , Changchun 130033 , China) Abstract : An effective 3D finite element model was constructed for the field emission array to analyse the field e mission current over a single tip . Considering the periodicity of field emission array and the axial symmetry of the single tip model , only 1/ 4 of the single tip model was analyzed . The electric field intensity distribution over the tip surface was established through calculation with appropriate voltage boundary condition applied , and it was found that the electric field intensity was the s