不同蒙特卡罗软件模拟中子深度剖面分析差异对比.PDFVIP

第41 卷 第9 期 核 技 术 Vol.41, No.9 2018 年9 月 NUCLEAR TECHNIQUES September 2018 不同蒙特卡罗软件模拟中子深度剖面 分析差异对比 徐 僳 张庆贤 何庆驹 吴 涛 张 罡 石 丛 孙 坤 肖云龙 （成都理工大学核技术与自动化工程学院 成都 610059 ） 摘要 中子深度剖面分析(Neutron depth profiling, NDP)技术在半导体生产、离子注入研究、材料科学等领域有 广泛应用。为了探究 NDP 能谱分析中模拟软件的一致性与可靠性，本文对比了 SRIM、MCNP 、FLUKA 和 GEANT4 等软件模拟NDP 的结果；对比分析了4 款模拟软件模拟的α粒子能谱，并以美国国家标准与技术研 究院(National Institute of Standards and Technology, NIST)标准物质SRM2137 实测谱为标准对模拟谱进行评价。 结果表明: 4 款模拟软件所模拟的α能谱在2 µm 厚晶体硅层内峰位能量一致性较好；MCNP 模拟的半高宽和 峰位结果优于FLUKA 和GEANT4 的模拟结果。 关键词 中子深度剖面分析，FLUKA ，GEANT4，MCNP ，SRIM，SRM2137 中图分类号 TL99 DOI: 10.11889/j.0253-3219.2018.hjs.41.090203 Comparison of different Monte Carlo simulation software for simulating neutron depth profiling XU Su ZHANG Qingxian HE Qingju WU Tao ZHANG Gang SHI Cong SUN Kun XIAO Yunlong (College of Nuclear Technology and Automation of Engineering, Chengdu University of Technology, Chengdu 610059, China) Abstract [Background] Neutron depth profiling (NDP) method is widely used in semi-conductor production, ion implantation research, material science and other fields. [Purpose] This study aims to explore the reliability of simulation software in NDP energy spectrum analysis, and compare the results of simulating NDP by SRIM, MCNP, FLUKA, and GEANT4. [Methods] First of all, the differences of four software in simulation for alpha spectrum are discussed. Then, the experimental alpha spectrum of National Institute of Standa