钛酸锶钡薄膜微细图形的制备JournalofSemiconductors.PDF

第 27 卷 　第 9 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 27 　No . 9 2006 年 9 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Sep . ,2006 钛酸锶钡薄膜微细图形的制备 1 , 1 1 2 张卫华 　赵高扬 　李 　莺 　赵 　卫 ( 1 西安理工大学材料科学与工程学院, 西安 　7 10048) (2 中国科学院西安光学精密机械研究所 , 西安 　7 10068) ( ) 摘要 : 采用化学修饰的溶胶凝胶工艺 ,制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡 B a0. 8 Sr 0. 2 TiO3 溶胶及其凝胶薄 ( ) 膜. 提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新方法 , 即以苯酰丙酮 BzA c H 为化学修饰剂 , 乙酸钡 、氯化锶 、钛酸丁酯为原 料 , 甲醇为溶剂 ,乳酸为催化剂 ,合成了具有螯合物结构的前驱溶胶体系. 其螯合物的特征吸收峰在 358n m 附近 , 该 溶胶及其凝胶薄膜在室温下有较好的化学稳定性; 高压汞灯产生的紫外光照射可以分解薄膜中的螯合物结构 , 伴 随着这种螯合物结构的分解 , 薄膜在乙醇中的溶解性迅速降低 , 从而表现出紫外光感应特性. 利用这种光感应特 性 ,采用紫外光通过掩膜照射薄膜 ,然后在乙醇中溶洗 , 获得了凝胶薄膜的微细图形 , 进一步通过 600 ℃晶化热处 理 , 最后得到了具有钙钛矿相结构和铁电特性的钛酸锶钡薄膜的微细图形. 关键词 : 钛酸锶钡; 铁电薄膜; 微细图形; 溶胶凝胶 PACC : 7780 ; 4270 ; 8270 G 中图分类号 : TN 1042 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2006) ( ( ) ) ( ) 酸丁酯 Ti OC4 H9 4 为原料 , 甲醇 MeO H 为溶 ( ) 1 　引言 剂 ,乳酸为催化剂 ,苯酰丙酮 BzAc H 为化学修饰 剂 ,按 1 ∶30 的摩尔比将乙酸钡溶于甲醇中 ,在催化 ( 具有钙钛矿结构的钛酸锶钡 B a0 . 8 Sr0 . 2 Ti O3 , ( ( ) ) 剂乳酸 C H3 C H O H COO H , Kt 作用下 ,25 ℃恒