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铝 的点蚀 行 为
徐丽新 胡 津 耿 林 姚忠凯
哈尔滨工业大学材料科学与工程学 院 哈尔滨 引 叉
文 综 了 十 , 铭 的点蚀 为方 面 的一 些 突 , 铭 的亚 点 、 定 点性 点
摘 述 近 几年来 在 行 破性成就 对 稳 独 穗 及
性化 学机制等方 面 的研 究进行 了评述 。 详细论述 了在对铝 的亚稳 点独 的研 究 中从定性描 述发展到定童研 究
。 , , ,
所取得 的重 大进展 对如何通过研 究铭 的 点独扩展动 力 学来预测 点蚀 扩展行为 同时对枕化膜 的半导体性
、 了 。
能 电子性能进行 概述
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关键词 点恤 铝 钝化
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