采PDMS芯模微电铸成形镍微轮-中国科学杂志社.PDF

FFaabbrriiccaattiioonn ooff nniicckkeell mmiiccrroo ggeeaarrss bbyy mmiiccrrooeelleeccttrrooffoorrmmiinngg uussiinngg PPDDMMSS mmoollddss 周波, 吴有智, 苏 , 孟军虎, 韩杰胜 and 张兴凯 Citation: 中国科学: 技术科学; doi: 10.1360/ N092017-00383 View online: /doi/10.1360/ N092017-00383 Published by the 《中国科学》杂志社 AArrttiicclleess yyoouu mmaayy bbee iinntteerreesstteedd iinn PDMS microchannel fabrication technique based on microwire-molding Chinese Science Bulletin 5533, 3928 (2008); DNA microarray synthesis by using PDMS molecular stamp (II) ——Oligonucleotide on-chip synthesis using PDMS stamp Science in China Series B-Chemistry 4444, 442 (2001); A method for detection and quantification of meshing characteristics of harmonic drive gears using computer vision SCIENCE CHINA Technological Sciences 5599, 1305 (2016); DNA microarray synthesis by using PDMS molecular stamps (Ⅲ)—— Optimization for the reaction conditions Chinese Science Bulletin 4477, 1073 (2002); Deformation analysis of the flexspline of harmonic drive gears considering the driving speed effect using laser sensors SCIENCE CHINA Technological Sciences 6600, 1175 (2017); 中国科学: 技术科学 SCIENTIASINICATechnologica 论 文 采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮 1,2 1* 2* 2 2 2 周波 , 吴有智 , 苏博 , 孟军虎 , 韩杰胜 , 张兴凯 1.兰州理工大学材料科学与工程学院, 兰州730050; 2. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 兰州730000 *E-mail: youzhiwu@163.com;bosu@ 收稿日期: 2017-11-07; 接受日期: 2018-03-21; 网络版发表日期: 2018-12-04 国家自然科学基金(批准号、中国科学院“西部之光”人才培养引进计划和甘肃省自然科学基金(批准号:17JR5RA320)资助项目 摘要 以Φ3.60mm×0.18mm的微齿轮作为模板, 先用软刻蚀技术制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性模具, 通过将 PDMS模具黏附在石墨基片上与在PDMS模具表面喷金制备成两种不同的芯模, 再采用微电铸技术成形镍微齿 轮. 通过对在两种不同芯模上制备的镍微齿轮的结构完整性、铸层的生长方式和物相组成进行对比, 分析芯模对 微电铸成形的影响. 结果表明: 表面喷金的PDMS芯模可以精确复制微齿轮模板的微结构. 相比于在喷金的PDMS 芯模上微齿轮的逐层生长, 在石墨基片上微齿轮是以外延的方式生长, 在微齿轮中易产生裂纹等缺陷. 两种芯模 上制备的镍微齿轮晶粒尺寸基本相同, 但相比于将PDMS模具黏附在石墨基片上制成的芯模, 在喷金的PDMS芯 模上成形的镍微齿轮(200)晶面择优取向增强,(111)晶面择优取向减弱, 且残余应力更小. 关键词 微电铸