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不同溅射气压制备eI多层膜的实时应力研究-光学仪器.PDFVIP

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  • 2019-02-25 发布于天津
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不同溅射气压制备eI多层膜的实时应力研究-光学仪器.PDF

    第 卷 第 期 光 学 仪 器 年 月 文章编号 不同溅射气压制备 多层膜的实时应力研究 张一志 冀 斌 叶天明 陈进文 朱京涛 吴文娟

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