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EPS制程工程課/Aweihe/2008.02.18 Ver:1.0 目錄 DOE簡介 術語 單因子實驗 部分因子實驗 全因子實驗 響應曲面 DOE模擬練習 DOE簡介 DOE術語 因子 水平 分辨率 交互作用 中心點 區集 重復 反復 全因子實驗 交互作用 交互作用影響 3因子實驗設計交互作用 交互作用 交互作用影響 因子篩選 3～15 Y=F（x) 篩選因子 別名結構 C=AB為別名產生器 B=AC,A=BC,ABC=I A*I=A, A*A=I 因子互為別名的相量相等 效應=別名相加 B A C 影響柏拉圖 影響柏拉圖 縮減模型 因子影響 注：部分因子研究如果是做過濾因子時一定要看別名表，如果當作全因子實驗則不需要看別名表！ 別名變化 影響效果 交互作用 立方圖 P值大于α,不顯著，P值小于α值,則影響顯著 函式結構 函式結論 Y=64.25+11.5Temp-2.5Time+0.75C+0.75Temp*Time+5Temp*C Y=64.25+11.5+2.5+0.75-0.75+5 =81.5 溫度180度，時間8分鐘，Chip 為B模子 假設要求Y越大越好 分析路徑全因子DOE 創建因子設計 分析因子設計 1.確定水平數 2.確定因子數 3.中心點？反復？區集？ 4.隨機運行或標準運