基于飞秒激光的光纤三维微结构制备研究-激光与红外杂志.PDF

第４３卷　 第１期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４３，Ｎｏ．１ 　 ２０１３年１月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊａｎｕａｒｙ，２０１３ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１３）０１００１９０５ ·激光应用技术 · 基于飞秒激光的光纤三维微结构制备研究 周广福，戴玉堂，胡华东，李　涛，曹　靳 （武汉理工大学光纤传感技术国家工程实验室，湖北 武汉４３００７０） 摘　要：为适应新型光纤传感器件的需要，进行了飞秒激光在石英光纤材料上制备三维微结构 ２ 的工艺探讨。实验结果表明，光纤的烧蚀阈值约为１．５Ｊ／ｃｍ，烧蚀孔的深度与能量对数基本 上符合线性关系。在一定条件下，适当的增加激光能量有利于改善微孔的垂直度。理论分析 了锥孔和直孔的成形机理，探讨了微孔内壁形貌的形成机制和加工过程中光纤背面出现的崩 碎现象。采用适当的加工工艺，试制了光纤Ｆ－Ｐ腔、光纤端部悬臂梁等三维微结构。 关键词：飞秒脉冲激光；石英光纤；三维微结构；光纤传感器 中图分类号：ＴＮ２５３；ＴＮ２４９　 文献标识码：Ａ 　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１３．０１．００４ Ｓｔｕｄｙｏｎｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆｆｉｂｅｒ３Ｄｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ｂａｓｅｄｏｎｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒ ＺＨＯＵＧｕａｎｇｆｕ，ＤＡＩＹｕｔａｎｇ，ＨＵＨｕａｄｏｎｇ，ＬＩＴａｏ，ＣＡＯＪｉｎ （ＮａｔｉｏｎａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＦｉｂｅｒＯｐｔｉｃＳｅｎｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＷｕｈａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｗｕｈａｎ４３００７０，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｍｅｅｔｔｈｅｎｅｅｄｓｆｏｒｎｅｗｆｉｂｅｒｏｐｔｉｃｓｅｎｓｏｒｓ，ｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｆｏｒｆａｂｒｉｃａｔｉｎｇ３Ｄｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｉｎｓｉｌｉｃａｆｉｂｅｒ ｍａｔｅｒｉａｌｓｂｙｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｉｓｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅａｂｌａｔｉｏｎｔｈｒｅｓｈｏｌｄｏｆｆｉｂｅｒｉｓａｂｏｕｔ ２ １．５Ｊ／ｃｍ；ｔｈｅａｂｌａｔｉｏｎｄｅｐｔｈｉｓｏｆａｐｐｒｏｘｉｍａｔｅｌｙｌｉｎｅａｒｒｅｌａｔｉｏｎｗｉｔｈｔｈｅｌａｓｅｒｅｎｅｒｇｙ．Ｕｎｄｅｒｓｏｍｅｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ，ｔｈｅ ｈｉｇｈｅｒｅｎｅｒｇｙｉｓｍｏｒｅｂｅｎｅｆｉｃｉａｌｔｏｔｈｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｕｐｒｉｇｈｔｈｏｌｅ．Ｔｈｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｍｅｃｈａｎｉｓｍｓｏｆｔａｐｅｒｈｏｌｅ，ｕｐｒｉｇｈｔｈｏｌｅ ａｎｄｔｈｅｉｒｓｕｒｆａｃｅｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙａｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｔｈｅｄｉｓｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎａｐｐｅａｒｅｄｏｎｔｈｅｂａｃｋｓｕｒｆａｃｅｏｆｔｈｅｏｐｔｉｃｆｉｂｅｒｉｓａｎａ ｌｙｚｅｄ．Ｓｏｍｅｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｗｅｒｅｆａｂｒｉｃａｔｅｄｏｎｔｈｅｆｉｂｅｒｅｎｄ，ｓｕｃｈａｓＦＰｃａｖｉｔｙ，ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｒｕｃ ｔｕｒｅ，ｅｔｃ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｐｕｌｓｅｌａｓｅｒ；ｓｉｌｉｃａｆｉｂｅｒ；３Ｄｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ；ｆｉｂｅｒｏｐｔｉｃｓｅｎｓｏｒｓ １　引　言 色。基于这一特性，国内外学者试图通过在光纤上 加工微