基于粘滑驱动的球基微操作器动力学建模与分析-机械工程学报.PDF

第 43 卷第 4 期 机 械 工 程 学 报 Vol.43 No.4 2007 年 4 月 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Apr. 2007 基于粘滑驱动的球基微操作器 动力学建模与分析* 郭 伟 汪 盛 李满天 孙立宁 (哈尔滨工业大学机器人研究所 哈尔滨 150001) 摘要：球基微操作器是一种广泛应用于微纳米精密作业的微机器人系统，由基座、微操作球和顶端嵌有红宝石球 的 3 根四分压电陶瓷管组成。基于此，通过驱动压电陶瓷管弯曲或摆动，依靠红宝石球与微操作球间惯性摩擦形 成的相对位移实现微操作球 3 自由度的运动。这种摩擦运动中存在粘滑现象，粘滑驱动带来的非线性导致球基微 操作器动力学性能复杂。在简化球面高副连接的条件下，建立具有粘滑特性的微操作器系统动力学模型。基于动 态摩擦模型，运用数值方法分析多个参数对微操作器运动性能的影响，通过仿真手段完成模型验证。进行微操作 器运动测试试验，进一步验证所建立的动力学模型的正确性和有效性。 关键词：微操作器 动力学建模 粘滑驱动 数值分析 中图分类号：TG156 滑驱动带来很强的非线性，基于粘滑驱动原理的 0 前言* 微操作器动力学特性研究成为人们关注的热点。 文献[1-4]分别研究了粘滑现象对系统动力学性能的 微操作器一般是指在较小的工作空间内进行系 影响；文献[5-6]则分别讨论了粘滑驱动的实现及 统精度达到微米或亚微米操作的机器人。微操作器 应用。 一般具有行程大、分辨率高、体积小、输出力大及 本文从系统的拉格朗日方程入手，建立微操作 速度可控等性能，在微装配、光学调整、微外科手 器的动力学模型。着重分析了微操作球的动力学方 术和生物细胞操作等领域具有广泛的应用背景。 程。运用数值方法研究了多个参数对微操作器运动 微操作器机构、驱动和检测方式各异，但采用 性能的影响，并得到试验印证。研究结果为微操作 压电陶瓷驱动是目前的主流。德国、芬兰、日本等 器的设计优化与控制提供了参考和依据。 已有一些研究机构及公司提供了这方面的产品和研 究成果。其中德国 PI 公司研制了三轴压电陶瓷驱动 1 微操作器动力学方程 的纳米级微操作器，其运动范围 100 µm×100 µm× 100 µm，分辨率 1 nm；Jena 公司研制的五轴微操作 微操作器由压电陶瓷管，微操作球以及红宝石 器，3 直线自由度行程可达 100 µm，2 转动自由度 球三个部分组成，模型如图 1 所示。三根四分压电 行程可达±2.5 mrad ，分辨率达到纳米级。芬兰坦佩 陶瓷管驱动微操作球，通过控制压电陶瓷管的弯曲 雷工业大学研制了 3 自由度并联微操作手，由压电陶 和摆动，依靠惯性摩擦原理实现微操作球 3 自由度 瓷驱动，能实现亚微米级分辨率，运动范围 500 μm 。 (绕 x 、y 、z 轴) 的转动。三根陶瓷管相互成 90º，且 这些微操作手分辨率及重复定位精度较高，但工作 轴线相交于操作球的球心。这样可以避免空间的运 空间较小，通常是采用宏/ 微双重驱动方式加以改 动耦合，减少计算量，降低控制难度。 善，然而这导致了微操作器体积增大，并且宏微运 动之间的切换技术也不够完善。 压电陶瓷管 微操作球