高科技VOCs管理与控制技术研析-经济部工业局产业资讯网.PDF

工業污染防治 第 106 期(Apr. 2008) 185 高科技 VOCs 管理與控制技術研析 莊錦烽* 、葉國棟 ** 、李素梅*** 、許健毅 **** 摘 要 高科技產業在製造過程中為確保品質 ，經常使用大量易揮發的有機溶劑清洗 ， 其衍生的揮發性有機物(VOC) ，可能經由逸散或排放管道進入大氣環境中 ，加上高 科技產業的群聚現象 ，故對環境造成相當大的負荷 。 緣此 ，針對高科技VOC 的控制 ，本文從兩岸VOC 的管理架構 ，包括法規管理 趨勢 、排放標準比較 、監測方法 、設施及自動申報制度等面向 ；高科技業的處理技 術回顧 ；未來VOC 控制趨勢 ，從製程減廢 、節能案例 、空污費徵收的減量誘因 、脫 附技術的改進、使用者的設計需求、有害空氣污染物(HAPs)管制、安全認證(SEMI S2) 需求的不斷提高 、針對交期縮短 、設備大型化 、成本降低等實務上廠商所必須面對 的難題 、以及遭遇特殊天候時所需考量的設計需求等議題進行討論 ，冀望藉由相關 資料彙整及實務經驗的心得報告 ，能對業界及相關的從業人員有所俾助 。 【關鍵字】揮發性有機物(VOC) 、製程減廢 、節能 、有害空氣污染物 、SEMI S2 * 力技科技工程股份有限公司 總經理 **力技科技工程股份有限公司 專案經理 ***力技科技工程股份有限公司 副理 186 高科技 VOC管理與控制技術研析 ***莊錦烽環境工程技師事務所 資深工程師 一 、前 言 根據台灣半導體產業協會 2007 年問卷調查結果 ，IC 製造業產值高達 7,367 億 元 ，而光電業之整體產值亦突破 1 兆台幣 。因此 ，台灣高科技業如何在環保且安全 之環境下不斷成長 ，以利在台灣持續扮演產業棟樑角色 ，乃今日產業環保及安全管 制策略制定時之重要考量 。其中 ，VOC 乃國際間之重要管制污染物 ，台灣高科技業 者如何在全球佈局時 ，均能符合各國環保管制要求 ，實乃業者投資設廠時之首要課 題 。本文僅就VOC 管制與控制相關議題 ，作一簡要彙整與心得報告 ，期能對相關實 務從事者有所禆 益 。 二 、VOC 管理架構介紹 2.1 兩岸法規管理趨勢 基本上 ，兩岸針對空氣污染物之管制順序 ，還是遵循PM 10 、SOx 、NOx 等常規 污染物進行優先管制 。然高科技業由於為無塵室之廠房結構 ，除少數鍋爐設施及製 程設備或 Local scrubber 等燃燒裝置所產生之 SiO2 及未完全燃燒之塵粒外 ，粒狀污 染物之問題並不嚴重 。反倒是製程中用於清潔擦拭 ，去光阻溶劑等使用或揮發之有 機溶劑廢氣 ，因其本身有異味 、與NOx 反應形成臭氧 、造成空氣品質劣化 ；而勞工 安全衛生法規中因VOC 成份對人體健康造成危害 ，甚或有致癌之風險 。因此 ，在高 科技業中 ，VOC 與 HF 等五大無機酸並列為半導體及光電業之重點管制污染物 。半 [1] 導體生產製程之典型污染物如表 1 所示 。 [2] 大陸針對空氣污染物於 1996 年公告 「大氣污染物綜合排放標準」 ，此標準類 似於台灣之 「固定污染源空氣污染物排放標準」，為所有行業共用之管制基準 ，並 非個別行業排放標準 ，然近年來由於中國迅速移入了半導體及光電產業 。因此 ，既 有法規不足以管制高科技之相關污染排放 。 針對早期進入大陸之半導體及光電業，大陸以搭配環評之相關審查措施(以昆山 工業污染防治 第 106 期(Apr. 2008) 187 地區為例 ，如圖 1 所示) ，配合業者之產能進度 ，要求高科技業者逐步投入環保設備 投資 ，尤其VOC 處理設備 ，有些業者乃量產至 20,000 片/ 月後 ，才開始裝置沸石濃 縮轉輪暨焚化設備。近二年來隨著環保意識高漲，上海市於2007 年 2 月 1 日實施「半