运用大气压逃逸电子电浆处理织品不织布与膜材-纺织与材料工业.PDF

運用大氣壓逃逸電子電漿處理織品、不織布與膜材 A. N. Maltsev, I. N. Lapin, D. Yu. Kolokolov, V. S. Kasyanov , S. N. Garagaty Electrodynamic Systems Technologies, LLC 8/8 , Akademicheskii avenue, Tomsk, 634021, Russia, Phone/Fax : +7-3822- 701459 e-mail: marketing@, web: 前言 使用低壓非熱電漿來處理織品與不織布的技術發展至今已有 20 年。試圖以乾式電漿化” 學”取代紡織廠的傳統”濕化學”技術。這類電漿表面處理同時具備了生態與經濟上的優點。但 真空電漿製程並不適用於紡織業連續性產線。 目前已經用在連續產線上的大氣壓放電 (DBD 、電暈、滑閃、微波)技術的效率仍遠低於低 壓電漿製程，且處理深度僅能達到數公厘。 最近有兩套新的 大氣奈秒脈衝電漿(Atmospheric nanosecond pulse plasma processing system) 系統被開發出來，HERMES與ARTEMIS 。HERMES偏重運用於紡織廠處理改質織品、不 織布 與膜材的表面。ARTEMIS則偏重用於應用在玻璃、高分子、金屬、電路板等採平面輸送 帶的製程。 ARTEMIS ARTEMIS適用於平整固體表面的活化、改質、清潔、消毒用途。採用新式奈秒脈衝大氣 放電技術，提供高效率、無加熱、均質的大氣逃逸電子電漿。處理工件寬度達 2000 mm 、工件 厚度 40 mm 、處理速度可達10 m/min 。 適用範圍 活化、改質放置在平面輸送帶上的不織布材料，包括厚度達4cm的紡織品。 塑膠、金屬、晶體，及其他具平坦表面可放置在平面輸送帶的物質之清潔、活化、改質 。 玻璃表面鍍膜前的清潔活化，例如 LCD 、PDP 、TV 、手機、電腦等顯示器面板。 半導體矽、鍺等( )表面清潔與蝕刻，例如晶片、太陽能電池及其他電子產品。 食物 (蔬菜、水果包裝或輸送前的表面鈍化處理。) 包裝的消毒清潔。 醫療器具 (針筒、刀、手術衣、繃帶、手套、針線、輸血系統、容器的消毒。) HERMES 大氣壓放電目前已經可靠的產業應用技術了，尤其是織品的處理。許多公司已開發出以 DBD 、電暈、微波放電為基礎的設備。但都面臨一個共通的重要問題，就是處理的深度只到數 mm 而已。但很多紡織品如 絨毛衣、不織布或其他超過 1 cm厚度的材料則需要增強電場的密 度來增加處理深度。為了克服這個問題«Electrodynamic Systems Technologies», LLC 基於奈 秒脈衝大氣電漿的原理，開發了專利技術 Atmospheric Discharge with Runaway Electrons (ADRE) ， 2 具有較大的電極間隙(達 6cm)與電漿截面單電極約( 1500 cm ) 。再數萬eV的能量下， ADRE會 產生大量逃逸電子。這些高能電子可穿透數十公分距離的空氣與 100-200μm的固體表面 ，提供 了均勻與高效的電漿。目前開發出三種ADRE ：艙體型處理機“HYGEIA” ，輸送帶型處理機 “ARTEMIS” ，膜材用處理機HERMES 。電漿處理寬度可達2000 mm ，通道高度達 60 mm ，單 模組電漿平均能量為 1 kW 至5 kW 。處理速率達20 m/min 。 HERMES用於織品與不織布的實驗結果 圖 1 與圖2 分別是ARTEMIS與HERMES展示版系統外觀。 利用 ADRE活化玻璃表面的結果展示於圖 3 。圖中上方為起始的色液滴形狀，下方為經過 ARTEMIS活化處理後之玻璃上的液滴外形。 圖 1 ARTEMIS展示版系統外觀，輸送帶寬度 1600 mm ，通道高度60 mm ，採用 “ELECTRON-II-T1600”電漿產生器。單一系統最多可裝 50個電漿產生器。 圖 2 HERMES展示版系統外觀，