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第28卷第8期增刊 仪器仪 表学 报 VoL28No．8
Chinese ofScientificInstrument
2007年8月 Joumal A嚼2007
机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究*
田孝军，王越超，席 宁，董再励
(中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室沈阳110016)
摘要：利用AFM探针刻画方式可进行MEMS掩膜图案等的制备与修复研究，本文针对软朔性材料，建立了AFM探针刻
画时的刻痕尺寸模型，依据该模型及探针的实际受力与位置信息，可得到刻痕的实时位置与尺寸，并借助虚拟现实技术将刻
画过程实时显示在视觉界面上。在上述研究基础上，操作者可在线控制纳米刻画的过程及结果，对聚酯基片的纳米刻画实验
初步验证了上述模型的有效性。
关键词：机器人化纳米刻画；刻痕尺寸模型；实时显示}原子力显微镜
Oil and ofAFMbased
real-time robotic
Studymodeling cUsplay nano-imprint
Tian Yuechao，Xi Zaili
Xiaojun，Wang Ning，Dong
(Robotics Institute 110016，China)
of Sciences，Shenyang
Laboratory，ShenyangAutomation，Academyof
AFM be
basedon usedinfabricationor ofMEMSmask
Abstract：Nano-imprint may pattern．
probe repair
Inthis anano-scotchsizemodelof onwhichthescotch’S
research，we material，based
propose plastic posi-
tionsizecanbeobtained to force．andthen onthevisual
accordingprobe’Spositionapplieddisplayed
interface to onreal—time of
according
virtual-reality(VR)technology．Baseddisplaynano-imprintprocess，
the can contr01 andeventual on
the result．and
operatorelementarilyimprintprocess nano-imprintpolycar-
bonateverifiestheeffectivenessofthe model．
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