原创力文档精密位移平台高运动精度和稳定性行程为毫米行程为毫米毫米英寸单向重复精度达微米速度达毫米秒两相步进电机或直流电机增量线性编码器分辨率为纳米次脉冲分辨率的旋转编码器增量编码器用于高精度位置测量非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置非线性效应机械作用或弹性形变不会对测量造成影响光学限位和参考点开关交叉滚柱导轨对于交叉滚柱导轨滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代因此它们的刚度明显提高需要的预载更小这减少了摩擦并实现了更平滑的运行交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征力导向滚
精密XY位移平台
高运动精度和稳定性，行程为305 × 305毫米
L-741
行程为305毫米×305毫米（12英寸）
单向重复精度达0.05微米
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