四自由度压电微夹钳结构设计及尺寸参数优化.pdfVIP

第 14卷 第 1期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．14 No．1 2016年 1月 Nanotechnology and Precision Engineering Jan．2016 DOI10．13494／j．npe 王子宾，崔玉国，孙庆龙，等．四自由度压电微夹钳的结构设计及尺寸参数优化[J]．纳米技术与精密工程，2016，14(1)：41_47． WangZibin，CuiYungo，SunQinglong，eta1．Structuredesignandsizeoptimizationofa4-DOFpiezoelectricmicro- pper[J]．NanotechnologyandPrecision Engineering，2016，14(1)：41_47(inChinese)． 四 自由度压 电微夹钳的结构设计及尺寸参数优化 王子宾 ，崔玉国 ，孙庆龙 ，郑军辉 ，邬亮恩 (1．宁波大学机械工程与力学学院，宁波315211；2．首信 自动化信息技术有限公司，唐山064400) 摘 要：为提高微夹钳操作微对象时的灵活性，探索四 自由度压 电微夹钳的实现问题，将制成相应形状并分割驱动 电极的两片压电陶瓷晶片进行粘结，制作出微夹钳 ，并将两组空间垂直交叉的横向逆压电效应作用于钳指上，使单 个钳指产生夹持方向和垂直于夹持方向的微位移，从而使整个微夹钳 (两个钳指)具有4个 自由度．在综合考虑微 夹钳输 出位移、固有频率、制作工艺的情况下，采用有限元分析方法，对钳指长度、宽度、厚度进行了优化 ，对优化后 微夹钳的输出位移和振型进行了分析．对微夹钳的输 出位移进行 了测试，结果表 明：在60V的最高驱动电压作用 下，左、右两钳指沿夹持方向的最大位移分别为25．6 m、24．3 m，沿垂直于夹持方向的最大位移分别为32．1 m、 3O．9 m；两钳指的输出位移具有 良好的重复性． 关键词 ：压电微夹钳 ；四自由度；结构设计；特性分析；性能测试 中图分类号：TH．39 文献标志码：A 文章编号：1672．6030(2016)01-0041-07 StructureDesignandSizeOptimizationofa4-DOF PiezoelectricM icro-Gripper WangZibin，CuiYuguo，SunQinglong，ZhengJunhui，WuLiang’en (1．FacultyofMechanicalEngineeringandMechanics，NingboUniversity，Ningbo315211，China； 2．ShouxinAutomationInformationTechnologyCo．，Ltd．，Tangshan064400，China) Abstract：Toimprovetheoperationflexibilityofthemicro—gripper，anovelfourdegreeoffreedom (4- DOF)piezoelectricmicro-gripperwasdeveloped．A coupleofpiezoelectricceramicwaferswithfinger shapeanddivideddrivingelectrodeswerebondedtogether．Furthermore，acoupleoftransverseinverse piezoelectriceffects，perpendicularlycrossing，wereappliedonthefingers．Correspondingly，microdis— placementsofonefingerbothinthegrippingdirection andpepre