基于MEMS平面变压器螺旋电感的研究及设计-精密仪器及机械专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究 工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢 的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也 不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用 过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论 文中作了明确的说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论 文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和 磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位 论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、 缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘要 摘 要 变压器的主要用途是信号与能量之间的转换，现代科学信息技术对变压器提 出了体积小、损耗小、可靠性高、可集成化和自动化生产的要求。随着信息科学 技术的发展，平面变压器体积小、质量轻、变压比大、耦合系数大等优点凸现， 在军事、航空、通信，特别是对体积和质量要求较高领域有着极其重要的应用。 最近十几年，随着 MEMS 加工技术中的键合技术、表面微加工技术和体微加工技 术的进一步发展成熟，大大推动了 MEMS 片上螺旋电感和平面变压器的研究发展。 本课题来源于绵阳某研究所的某军事预研项目。课题要求平面变压器体积不 得大于 3×3cm2，输入电压 27V，输出电压不低于 2000V。该项目主要用于完成瞬 间升压，以激活某发生器。考虑变压比（匝数比）较高，本课题采用三级变压的 结构形式，本文只针对第一级变压进行研究设计，变压比为 1：5。 本文从硅基片上电感的研究分析开始，针对片上电感的三大性能指标电感量 L、品质因数 Q 和自谐振频率 f 做了计算和模拟，并用软件 Ansoft Maxwell 对硅基 片上电感进行模拟仿真。通过结果对比，得出线圈宽度与中心孔宽度的比值不大 于 1.5 的情况下，环形电流对中心孔的磁通量贡献最大。为了充分利用电流产生的 磁通量，结合 MEMS 工艺加工技术，第一级平面变压器采用 S-P-S 叠层结构并安 装 EI 锰锌铁氧体磁芯。每层线圈基于一个硅片，然后三个硅片上下依次叠合，焊 接引线并封装，最后安装铁氧体磁芯。通过 Ansoft Maxwell 对此结构进行模拟仿 真，变压效率可达百分之八十一。结构确定后对此结构进行散热分析并加工制造。 本文根据平面变压器结构，按照微机械加工工艺中体微加工技术、表面微加 工技术和键合技术，采用硅作为基底，并溅射掩蔽层，减少衬底损耗。平面变压 器平面过大，磁场弥散（Pervasive）严重，为了能提供完整的磁回路，应用 EI 微 型磁芯置入平面螺旋电感之中，能够有效地解决了磁场弥散问题，提高了平面变 压器的工作效率。实现 MEMS 平面多层螺旋电感的一个主要困难是金属层之间的 绝缘，掩蔽问题。在硅表面和导线间溅射良好的绝缘材料得益于 MEMS 体微加工 技术和表面微加工技术的完善，因而实现了多层硅片叠加，平面变压器螺旋电感 也能获得成功。由此可知，在单一硅片上溅射多层结构，并将多个这样的硅片叠 加而成的多层螺旋电感重量轻、体积小、性能好。 关键词：MEMS，高变压比，平面变压器，螺旋电感，叠层结构 I Abstract Abstract The main function of the transformer is the conversion between the signal and the energy. The modern scientific information technology makes the transformer be of small size, low loss, high reliability, integration and automation of production. Along with the development of information science and technology, the plane transformer has the advantages of small size, light weight and high transformer ratio. It plays an an extremely important role in the military, aviation, communication and so on. In the last ten years, with the de