基于β-FeSi2薄膜的太阳能电池研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 HYPERLINK \l _bookmark0 5.1.4 β-FeSi2/Si 异质结的电学特征 64 HYPERLINK \l _bookmark1 Si/β-FeSi2/Si 双异质结 64 HYPERLINK \l _bookmark2 Si/β-FeSi2/Si 双异质结的制备 64 HYPERLINK \l _bookmark3 Si/β-FeSi2/Si 双异质结的表征 65 HYPERLINK \l _bookmark4 5.2.3 Si/β-FeSi2/Si 双异质结的光学特征 66 HYPERLINK \l _bookmark5 5.2.4 Si/β-FeSi2/Si 双异质结的电学特征 67 HYPERLINK \l _bookmark6 5.3 本章小结67 HYPERLINK \l _bookmark7 第六章 β-FeSi2 薄膜电池的模拟 68 HYPERLINK \l _bookmark8 6.1 AMPS-1D 软件介绍 68 HYPERLINK \l _bookmark9 6.2 β-FeSi2/Si 薄膜电池的模拟 69 HYPERLINK \l _bookmark10 N-β-FeSi2/P-c-Si 电池模拟 69 HYPERLINK \l _bookmark11 P-β-FeSi2/N-c-Si 电池模拟 70 HYPERLINK \l _bookmark12 6.3 Si/β-FeSi2/Si 薄膜电池的模拟 72 HYPERLINK \l _bookmark13 6.4 β-FeSi2 薄膜厚度与太阳光波长的关系 76 HYPERLINK \l _bookmark14 6.4.1 薄膜厚度的计算76 HYPERLINK \l _bookmark15 6.4.2 薄膜的吸收系数76 HYPERLINK \l _bookmark16 6.4.3 薄膜吸收层厚度与光子波长关系 78 HYPERLINK \l _bookmark17 6.5 本章小结79 HYPERLINK \l _bookmark18 第七章 β-FeSi2 薄膜电池的制备及测试 81 HYPERLINK \l _bookmark19 7.1 β-FeSi2/Si 异质结电池 83 HYPERLINK \l _bookmark20 7.1.1 磁控溅射制备电极83 HYPERLINK \l _bookmark21 7.1.2 丝网印刷制备电极84 HYPERLINK \l _bookmark22 7.2 Si/β-FeSi2/Si 双异质结电池 91 HYPERLINK \l _bookmark23 7.2.1 磁控溅射制备电极91 HYPERLINK \l _bookmark24 7.2.2 丝网印刷制备电极93 HYPERLINK \l _bookmark25 7.3 分析98 HYPERLINK \l _bookmark26 7.4 本章小结104 HYPERLINK \l _bookmark27 第八章 结 论105 HYPERLINK \l _bookmark28 参考文献108 HYPERLINK \l _bookmark29 致 谢 115 HYPERLINK \l _bookmark30 附 录 116 HYPERLINK \l _bookmark31 攻读学位期间第一作者发表的论文 116 HYPERLINK \l _bookmark32 攻读学位期间参加的学术活动情况 116 HYPERLINK \l _bookmark33 攻读学位期间参加的科研项目 117 摘 摘 要 摘 要 β-FeSi2是一种优良的环境友好型半导体材料，在室温时带隙宽度为0.83eV- 0.87eV，光吸收系数很大，对红外光的吸收能力很强，其理论的光电转换效率为 16%-23%，仅次于晶体硅，并且该材料成本低，化学稳定性高。近年来，随着微 电子器件的发展，基于β-FeSi2薄膜的电子器件研究在迅速发展，如在热电、太阳 能电池、近红外探测等领域。 本文利用磁控溅射技术对 β-FeSi2 薄膜和基于 β-FeSi2 薄膜的电池制备及性能 进行了探索。具体内容如下： 1. 系统地研究了退火温度、退火时间和Fe膜厚度对β-FeSi2薄膜形成的影响。 通过XRD分析发现：制备β-FeSi2薄膜的最佳退火温度是880℃。溅射Fe膜厚度 80nm-130nm，在880℃15小时到22小时条件下退火均可以制备出β-FeSi2材料。测 试结果表明：在880℃18小时以及880℃22小时条件下退火制备的β-FeSi2有