无电镀于生物晶片之应用.DOCVIP

無電鍍於生物晶片之應用 Electroless plating and its application to Bio-Chip 研究生：陳彥文 Yang, Chien-Ju 指導教授：陳文照 Lien, Yi-Yang 【摘要】 微流體生醫分析晶片已廣泛地應用在生醫研究等相關領域，一般傳統的微流體生醫分析晶片必須藉助雷射誘導螢光分析技術與複雜之光學設備方可進行分析，並不符合實用化與普及化之要求，本研究使用電性量測晶片進行分析檢測，可以大大的減低其儀器設備成本，此系統可以快速的分析出離子，改善了以往傳統量測所需大型複雜儀器之缺點。本研究以玻璃為基材，運用無電鍍(electroless)及電鍍(electroplating)技術結合微機電製程，設計製作出ㄧ生醫分析晶片。將偵測電極與微管道整合於單一晶片上，運用無電鍍技術沉積金屬薄膜於晶片上，使用電鍍法將其金屬層增厚而成為3D，作為量測晶片之電極。此製作方式之電力線所涵蓋之面積較一般平面電極大許多，因此會增加其偵測效能及敏感度，與以往微流體生醫分析晶片運用物理氣相蒸鍍法沉積金屬所製作出的電極相比，改善了薄膜電極量測面積及製作上高成本等問題。實驗中之偵測為非接觸式偵測，由於不必接觸樣品，不會產生副反應，可改善以往電極直接接觸檢測物而產生高熱變化影響檢測效果，增加了量測的準確度。利用離子通過偵測電極區時觀察電