如何利用扫描电镜进行自动化分析.PDFVIP

如何利用扫描电镜进行自动化分析 ？ 发布者 ：扫描电镜 在之前的博客中 ，描述了扫描电镜 （SEM ）自动化分析是如何节省研究人员和操作员的宝 贵时间。扫描电镜的操作者使用电镜的目的各不相同。这篇博客详细描述了扫描电镜 （SEM ）在自动化的激光损伤阈值测试 （LIDT ）中的应用。 扫描电镜 （SEM ）：自动化的激光损伤阈值测试 较强的激光会破坏光学器件 ，如镜面 ，光学涂层或纤维。为了选择合适的光学器件 ，发现 多大能量的激光会损害一个组件 ，或者永久地改变其光学特性是十分重要的。 图一 ：光学涂层被激光损伤后的扫描电镜背散射 （BSD ）图片 1 为了确定准确的激光能量影响大小 ，需要进行激光损伤阈值测试。栅格图样中的光学器件 暴露在具有不同强度和波长的激光中。在接触激光后 ，使用不同类型的光学显微镜和扫描 电镜检查这些光学器件的损伤程度。网格包含数百个不同的点 ，每个点都必须检测。人工 手动测试将需要消耗大量的时间。 如何自动获取每个点的图像 使用飞纳扫描电镜的可编程接口 ，创建一个脚本以自动获取每个点的图像。该脚本通过由 激光创建的坐标列表来工作。然后 ，在两个特定坐标点上校准载物台 ，最后 ，脚本将在特 定的放大倍数中对每个点进行图像采集。 图2 ：LIDT 扫描脚本的用户界面 ：小红点和绿点代表了光学涂层暴露在激光下。 2 所有的图像都存储在选定的文件夹中供用户检查。如果某个特定点需要进一步检查 ，那 么 ，在用户界面上单击它就可以很容易地找到并进行分析。自动化操作为用户节省大量的 图像采集时间。如今 ，用户只需要点击图像 ，检查是否存在损伤即可。 关键词 扫描电镜 ，台式扫描电镜 ，扫描电镜自动化 关于作者 Ruud Bernsen Ruud Bernsen 是世界领先的桌面扫描电子显微镜供应商—— Phenom-World 的技术销 售工程师。他为荷兰的客户提供培训和产品支持。此外 ，Ruud 还为公司和大学安排产品 演示 ，以展示该公司产品的测试能力可能范围。 3