基于低温等离子体发射光谱强度比的中性粒子诊断研究李江（力学所）.PDFVIP

LHD 学术报告会青年学术系列论坛(2012 年5 月10 日周四9 点-12 点) （一） 报告题目： 基于低温等离子体发射光谱强度比的中性粒子诊断研究 演讲人： 李 江 （力学所） 时间：2012 年5 月10 日（周四）上午9:00-10:00 地点：力学所 1 号楼312 会议室 邀请人：黄河激 副研 报告摘要： 基于低温等离子体的干法刻蚀技术在半导体设备制造相关领域发挥了不可替代的作用，是目前实现各 向异性刻蚀和选择性刻蚀的商业上唯一可行的技术。气体放电中产生的各种中性粒子是影响低温等离子体 刻蚀以及其它应用的重要因素，因此对这些粒子的诊断以及相关动力学机制既是科学研究和工业应用关心 的重要内容，也是难点内容。尽管一些传统的诊断方法，如激光吸收谱、吸收光谱、质谱等常被应用于诊 断中性粒子密度，但是这些方法都比较复杂，不适于工业应用所要求的在线诊断。另一方面，发射光谱技 术是一种非常简单的诊断手段，容易实现在线诊断，在低温等离子体参数诊断中发挥了巨大作用。但是， 目前发射光谱较难应用于定量诊断中性粒子密度及其空间分布。通过对发射光谱自吸收特性的研究，我们 发现一些中性粒子的密度与它们的某些光谱的逃逸因子有较强的函数关系，因此可以从这些逃逸因子中得 到粒子密度的信息。在此基础上，本文提出了一种利用发射光谱强度比的方法来诊断中性粒子密度及空间 分布的方法。在以CF4 和Ar 为原料气体的射频容性耦合等离子体中，运用谱线强度比方法，诊断了氩原子 1s 能级组、碳原子、铝原子的密度以及轴向空间分布，这些诊断结果分别与理论计算、紫外宽带吸收谱、 激光吸收谱得到的结果符合很好，证明了谱线强度比方法的可靠性。通过与这些方法的对比，得出谱线强 度比方法具有如下优点：实验系统简单；不需要额外光源；可测量粒子种类较多；容易实现空间分辨诊断； 更容易实现在线诊断。 （二） 报告题目： Applications of Plasma Actuators in Delta-Winged UAVs and MAVs 演讲人： Professor Chih-Yung Wen （AIAA Associate Fellow Department of Aeronautics and Astronautics National Cheng-Kung University, Taiwan） 时间：2012 年5 月10 日（周四）上午10:00-12:00 地点：力学所 1 号楼312 会议室 邀请人：姜宗林 研究员 报告摘要： This talk presents the preliminary fundamental research on applying plasma actuators on the delta wings. Plasma actuators that discharge at one atmosphere have attracted considerable attention in the aerospace industry, especially in the applications of UAV and MAV, due to their features of simple mechanism, easy maintenance, low cost and fast response ( 1 ns, theoretically). Their working principles are to apply a positive voltage and a negative voltage on the surface of an aerial vehicle by two electrodes, which then ionize the adjacent gas molecules and form the plasma. The electric field induces the motion of the plasma and results in the ionic wind consequently. The ioni