基于光学法测量元件三维面形结构及表面粗糙度的研究-光学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 本论文的研究得到 山东省自然科学基金项目(ZR2011FM007) 资助 烟 烟 台 大 学 硕 士 学 位 论 文 摘要 表面粗糙度通常作为描述表面粗糙程度的重要参数之一，它的大小间接反映了 元件的质量，同时很大程度上影响和决定了元件的使用性能。尤其随着技术的发展， 对仪器设备部件精密化程度和光学表面光滑程度提出了更高要求，快速准确评估元 件表面粗糙程度具有重要意义。因此，更快更准的测量元件的表面粗糙度一直是研 究的热点。 本文主要包含两方面的研究内容，低散射体( ????????m ，T ????)的散射特性及 白光干涉法测量表面形貌。在探究低散射体( ????????， T ????)的散射特性方面，首 先介绍了低散射体的理论模型，该模型以基尔霍夫理论为基础，通过对基尔霍夫衍 射公式的拓展合理的导出散射场方程。其次，采用随机过程与时间序列相结合的方 法模拟出了均方根偏差 ????0.02?m ，????15?m 、????0.02?m ，????30?m 及 ????0.05?m ， ????15?m 、 ????0.05?m ， ????30?m 二维和三维粗糙表面，并且使用 MATLAB 模拟了 ????0.05?m ， ????5?m 、 ????0.05?m ， ????15?m 、 ????0.1?m ， ????5?m 及 ????0.1?m ， ????15?m 四种二维高斯分布粗糙表面形成的散射场。结果表明： （1）表面垂直高度信息与均方根偏差 ??有关，随着 ??的增大，表面垂直高度差 增加；表面水平信息与表面相干长度T 有关，随着 T 的增大，表面趋向平滑。 （2）低散射体形成的光强分布在反射方向强度极强，其他方向较弱，表明表面 越粗糙，对光的散射能力越强。 最后，采用实验方法探究低散射体( ????????m ，T ????)的散射特性。在粗糙度 与光强之间的关系方面，通过分析实验数据发现散射场的仿真结果与实验处理结果 是基本相符的；在表面粗糙度 Ra 与散斑对比度 C 关系方面，结果表明 Ra 与散斑对比 度 C 近似呈线性关系。 在白光干涉法实验测量表面形貌方面，主要进行了理论仿真探究和初步的实验。 以 LED 为光源的 Twyman 干涉仪作为测量装置，分析了白光干涉测量原理。选取一 种表面高度分布函数并采用表面生成算法，通过使用 matlab 编程进行了仿真。从仿 真结果可以看出由算法生成的表面轮廓与实际表面高度分布基本相似，另外选取了 5 个相同点进行对比，结果表明：5 个点的相对误差均小于 0.5% ；白光干涉法具有精 度高，测量速度快、信息量大等优点。 I 万方数据 万方数据 综上，根据探究低散射体散射特性得出的结论，采用 CCD 采集散斑图像，经图 像处理程序提取相关信息即可估算出粗糙程度，说明散射法非常适合在线测量且精 确度要求不高。对于要求表面粗糙精确度较高时，可采用白光干涉法。 关键词：表面粗糙度；散射场；高斯分布；散射法；白光干涉法； II 烟 烟 台 大 学 硕 士 学 位 论 文 PAGE III万方数据 PAGE III 万方数据 Abstract The surface roughness is usually described as one of the important parameter of the surface roughness, which indirectly reflects the quality of the sample, while largely influence and determine the performance of the element. Especially with the development of technology, the degree of precision instruments and equipment components and optical surface smoothness put a higher demand, rapid and accurate assessment of the component surface roughness is important. Therefore, faster measurement and more accurate measurement of surface roughness has been a research focus. This paper contains two aspects: one is low scattering body characteristics ,two is whi