基于光敏材料的多通道滤光片研究-光学工程专业论文.docxVIP

浙江大学硕士学位论文摘 浙江大学硕士学位论文 摘 要 现有的多通道滤光片制备方法存在工艺繁琐、成品率低等缺陷。随着光电技 术的发展，采用光敏材料制备集成光学器件的方法取得了很大进步，将光敏材料 的应用引入传统光学薄膜领域，可以对已沉积的滤光片进行曝光修正、制作图形 化滤光片。 本论文将现有的光学薄膜技术和光敏材料相结合，探索一种制备多通道干涉 滤光片的新方法和与工艺，以克服传统方法的不足。本论文完成的工作有以下几 方面： 1)以硅氧烷MTPS水解聚合物为基础，采用溶胶凝胶法掺杂光引发剂BDK 合成了有机无机复合材料。这种材料薄膜的折射率与物理厚度在紫外曝光下显著 增加，在掺杂50％的条件下曝光60 rain光学厚度改变量达到60％。而且易于成 膜，表面均匀，对可见光波段不敏感，抗日光老化，在可见波段损耗小，可以作 为干涉滤光片的间隔层。对材料的分析表明光敏机理源自于光引发剂基团对无机 结构的修饰和聚合作用。 2)探索出了适合该材料的薄膜制备方法，包括基底处理、匀胶旋转速度和 时间、成膜后处理、高温热处理温度和退火等工艺因素。使用光敏材料制备单层 薄膜，对薄膜的光学参数和紫外曝光下参数的变化特性进行了测定。60 rain的分 时曝光测量表明紫外曝光使薄膜折射率由1．558增加到了1．592，物理厚度由288 nnl增加到422 nm。 3)设计和制作了具有10¨m到100¨m不同尺度图案的掩模，对薄膜进行图案 化曝光，良好重现了掩模图样。设计并制备了法布里．珀罗结构的透射型光学滤 光片，对七个通道进行不同时长的曝光得到了中心位于550 nm附近的多通道滤 光片。使用厚度在300 nm附近的光敏材料层设计制备了反射型光学滤光片，实 现了蓝色和绿色两种不同颜色的色块图形。 关键词：光敏材料，溶胶凝胶法，光致图形化，薄膜，多通道滤光片 浙江大学硕士学位论文ABSTRACT 浙江大学硕士学位论文 ABSTRACT Existing fabrication process of multi-channel optical thin film filter has drawbacks of complexity and low yield rate．However,when photo-sensitive materials which have gained great Success in integrated optics components come into the field of traditional thin film optics，post-deposited thin film filters can be modified and patterned． In this paper,we combined the optical thin film technology and photo．sensitive material to investigate a new method of fabricating multi-channel filters that a_vert the complexity of traditional process．We have achieved accomplishment in several points： 1) Based on the hydrolysis of polymer siloxane MTPS，doping诵廿1 photo-initiator agent BDK，organic and inorganic hybrid materials synthesized、析t11 sol。gel method．A significant increase in the refractive index and physical thickness of this material after 60 min UV exposure is observed as well as optical thickness change of 60％in the doping of 50％under the conditions of exposure．This material is easy to deposit film、^哇m uniform surface and is insensitive to visible light．The film is anti． photoaging and in the visible spectrum the loss is small，SO it Can be used as spacing layer interferenc