电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ４ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ４ Ａ ｒ．２０１１ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０４０７６２０６ 　 电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计 李博翰，于晓梅 （北京大学 微电子学研究院 微米纳米加工技术国家级重点实验室，北京 １００８７１） 摘要：设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构，并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间 常数，从中优化出了该模型的部分结构参数，并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计。在该尺寸模型下，得到的像元 热导率为 －７ ／ ，热机械灵敏度为 ／ ，热时间常数为 ，该热时间常数满足人眼识别频率的需要。讨 ３×１０ Ｗ Ｋ １６２ｎｍ Ｋ ３５ｍｓ 论了焦平面阵列能够高灵敏度工作的关键参数—噪声等效温差，分析计算显示，得到噪声等效温差为 ６ｍＫ。进行了仿 真计算，得到的噪声等效温差为 ５ｍＫ，与计算结果非常吻合。实验表明，该系统的噪声等效温差足够小，可满足稳定输 出信号的需要。最后，基于牺牲层工艺制备了长支腿结构焦平面阵列，验证了制备工艺的可行性。 关 键 词：红外焦平面阵列；热机械灵敏度；热时间常数；噪声等效温差 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ２１５ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０７６２ 　　 　　 犇犲狊犻狀狅犳犮犪犪犮犻狋犻狏犲狉犲犪犱犻狀犳狉犪狉犲犱犉犘犃 犵 狆 ， ＬＩＢｏｈａｎ ＹＵＸｉａｏｍｅｉ （ ／ ， 犖犪狋犻狅狀犪犾犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犕犻犮狉狅犖犪狀狅犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀犜犲犮犺狀狅犾狅 狔 狔 犳 犵狔 ， ， ， ） 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊犘犲犽犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犅犲犻犻狀 １００８７１犆犺犻狀犪 犳 犵 狔 犼 犵 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｗｉｔｈｔｈｅａｉｍｔｏｉｍ ｒｏｖｅｔｈｅ ｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆａｎｉｎｆｒａｒｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒａｎｄｔｏｅｎｈａｎｃｅｔｈｅｃｈａｒａｃ ｐ ｐ （ ）， ｔｅ