基于光脉冲辅助的金属诱导横向晶化多晶硅薄膜的研究-光学工程专业论文.docxVIP

一 孟 妙 刀 几 目 录 中文 摘 要 “ “ ” “ “ “ ， ” ” ” · ” ” · ” “ “ … … 月 · “ “ ” “ ” ” ” … … 一目 录 “ “ “ · ” ” · ” ” 一 第 一 章 引 言 ” ” “ “ ” ” ” “ “ 一 了 第 二 章 平 板 显 示 技 术 的 回 顾 和 发 展 “ ” ” · ” ” … … 万 … … … … … …引 … … … …有 源 矩 阵 液 晶 显 示 技 … …  五江 的 分 类 及 特 点  二 端 子 元 件  … … 三 端 子 元 件   … … … … 薄 膜 晶 体 管 基 本 结 构和 工 作 原 理  … … … … 器 件 结 构  … … … … 器 件 的 工 作 原 理  … … … … 有 源 矩 阵 有 机 电致 发 光 显 示  … … … … 技 术 的 发 展 的 驱 动 方 式  一 一 巧 无 源 矩 阵 现 驱 动 方 式  一 …有 源 矩 阵 皿 侧 驱 动 方 式 …  … … 巧 第三 章 多 晶硅 薄 膜 的 常 用 制 备 方 法 “ ” “ “ “ · ” 四 … … … … … …引 … … 化 学 气 相 沉 积  低 压 化 学 气 相 沉 积  … … … … 等 离 子 增 强 化 学 气 相 沉 积  … …固相 … …  … … … … 准 分 子 激 光 退 火  … … … …  … … … … 快 速 热 退 火  … …金 属 诱 导 固 相 晶 … …  … …… …舰几 的 … … … …  … … … … … …从 原 … …  几 的 优 点  第 四章 金 属 诱 导 横 向晶化 多 晶硅 薄膜 的制 备 “ ” “ “ ” “ ” ” “ “ ” “ ”  ”一 ” 实 验 材 料 及 玻 璃 基 底 的 清 洗  … …薄 膜 沉 积 材 … …  … … … … … …基 片 材 料 及 基 片 清 洗 方 … …  … … … … … …非 晶 硅 的 淀 积 原 … …  法 制 备 薄 膜 的 生 长 机 制  的 结 构  一 非 晶 硅 薄 膜 的 制 备  … … … 设 备 结 构 及 操 作  薄 膜 沉 积 材 料   … …非 晶 硅 薄 膜 的 制 … …  … … … … 金 属 诱 导 横 向 晶化 几 多 晶 硅 薄 膜 的制 备  … … … 诱 导 金 属 镍 薄 膜 的 制 备  退 火 炉 的 改 造  … … … … 薄 膜 的 退 火 处 理  … …… …第 五 章 多 晶硅 薄 膜 性 能 的侧 试 与 … … … … “ ” “ ” ” 一 ”…膜 厚 的 测 一 ” …  退 火 条 件 对 晶 化 的 影 响  退 火 环 境温 度 对 多 晶 硅 结 晶 的 影 响  … … … … 光 辐 射 参 数 对 晶 化 的影 响  … … … … 透 射 电 镜 测 试  … … … … 波 谱 分 析  … … … 一 第 六 章 的 制 备 与 特 性 测 试 ” ” “ “ ” ” “ ” · “ ” 一 一 制 作 准 备 工 艺 的 探 索 … … 中硅 的 刻 蚀 工 艺  … … … 氮 化 硅 的 刻 蚀  … 电极 镍 铬 合 金 的 刻 蚀  … … … 结 构 设 计 与制 备 工 艺  对 的 测 试   … … … … 第 七 章 结 论 ” ” ” “ ” “ “ “ ” · … … 本 论 文 的 主 要 结 论  … …本 文 工 作 展 … …  … … 参 考 文 献 · ” “ “ “ “ ” “ “ “ “ “ ” ” ” “ ” ” ” “ ” ” 一 ‘致谢 ” · · ” ” ” ” “ “ ” “ ” “ ” ” “ … … 一 ‘ 个 人 简历 攻 读 硕 士 学 位 期 间 完 成 的 论 文 及 科 研 情 况 ” · … … ‘， 电子 科 技 大 学 硕 士 学位 论 文 竺 竺 音 言 二月， 等二 ‘ 信 息 时 代 的 到 来 和 信 息 技 术 与 产 业 的 迅 速 兴 起 全 球 数 字 化 进 程 的 推 广 作 为 人 类 与 信 息 资 源 进 行 交 流 的 界 面 之 一 一 一 显 示 终 端 在 人 民 生 活 国 民 经 济 和 国 防 建 设 的 各 个 领 域 得 到 了 日 益 广 泛 的 应 用 一 方 面 人 们 对 显