原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
第 卷第 期 压 电 与 声 光
３９ ４ Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．４
年 月
２０１７ ８ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ａｕ．２０１７
ｇ
文章编号： （ ）
１００４２４７４２０１７０４０５６５０４
氩氧比对磁控溅射梯度犃犣犗薄膜光电性能的影响
，
１２ １ １ ２
赵 斌 ，唐立丹 ，王 冰 ，冯佳恒
（ 辽宁工业大学 材料科学与工程学院，辽宁 锦州 ； 中国科学院 嘉兴微电子仪器与设备工程中心，浙江 嘉兴 ）
１． １２１０００２． ３１４０００
摘 要：采用磁控溅射法在单晶硅和石英玻璃衬底上制备梯度铝掺杂的氧化锌（ ）薄膜。利用 线衍射
ＡＺＯ Ｘ
（ ）、霍尔效应测试和紫外可见光分度计等研究了不同氩氧比（体积比）对梯度 薄膜结构和光电性能的影
ＸＲＤ ＡＺＯ
响。结果表明，氩氧比可以改善薄膜的结晶质量，且对电学性能的影响较大。随着氩氧比的增加，晶粒尺寸减小，
结晶度稍有下降，薄膜的电阻率却显著降低，当氩氧比为 时，薄膜具有最低的电阻率为 －４ · 。此
１∶０ ６．８５×１０ Ω ｃｍ
外，所有的梯度 ＡＺＯ薄膜在可见光区的透过率均达到 ８０％。
关键词：梯度铝掺杂的氧化锌（ ）薄膜；磁控溅射；氩氧比；电阻率；透过率
ＡＺＯ
中图分类号： 文献标识码：
ＴＮ３０４．２ Ａ
犐狀犳犾狌犲狀犮犲狅犳犃狉狋狅犗 犚犪狋犻狅狅狀狋犺犲犘犺狅狋狅犲犾犲犮狋狉犻犮犘犲狉犳狅狉犿犪狀犮犲狅犳
２
犌狉犪犱犻犲狀狋犃犣犗犜犺犻狀犉犻犾犿犘狉犲犪狉犲犱犫 犕犪狀犲狋狉狅狀犛狌狋狋犲狉犻狀
狆 狔 犵 狆 犵
，
１２ １ １ ２
， ， ，
犣犎犃犗犅犻狀 犜犃犖犌犔犻犱犪狀 犠犃犖犌犅犻狀 犉犈犖犌犑犻犪犺犲狀
犵 犵
（
文档评论（0）