真空设备常见故障一览表（机械方面）.PDFVIP

真空设备常见故障一览表 （机械方面） 序号 项 目 故障现象 故障原因分析 处理方法 前、后炉门的 保温屏四根导向杆与气缸或相互间不 现场切割校平或加大导向孔的 1 内保温屏运行 平行； 间隙或去掉一根导向杆 时经常出现卡 住现象，导致 2 设备无法运行 导向杆不光滑或没油烧死。 用砂纸打磨和加润滑油。 。 3 炉门密封圈损坏或污染 更换或清洗密封圈 更换电极密封圈和查找缺水原 4 电极密封圈因缺水导致烧坏