基于Top-down设计理念的微器件三维特征建模-中国科技论文在线.PDF

基于Top-down 设计理念的微器件三维特征建模工具 的研究 黎岩，江平宇，刘旸，宁继容 西安交通大学机械工程学院，710049 ，西安 E-mail: pjiang@ 摘 要： 本文以微器件模型设计为研究任务，基于 MEMS Top-down 设计理念，对微器件特 征建模工具进行了深入的理论研究和原型系统的开发。在基于微制造过程的基础上总结微器 件形状特征，建立微器件特征库，提出了基于层设计思想的微器件特征模型建立方法，实现 特征建模工具原型系统的开发，并选取悬臂梁、变流器和微流体单向阀装置验证了系统的实 用性和正确性。 关键词：微机电系统；微器件；特征建模；微机电系统计算机辅助设计 1. 引言 微电子机械系统，即MEMS （Micro-Electro- Mechanical System ，亦称为微型机电系统） 技术源于以微电子技术为特征而发展起来的一门多学科交叉的新兴学科[1]，MEMS技术正从 实验室走向市场，越来越复杂的微器件产品大量出现。MEMS产品的多样化和其整体结构的 日趋复杂使得传统的设计方法已无法完全适应MEMS系统在全局性设计和性能模拟分析等 方面的需求，急需寻求与之相适应的、能从系统性地支持设计与制造两个角度出发的微器件 设计工具。 目前，国内外学者都在研究MEMS 设计工具的开发方法，但当前在微器件设计领域里， 微器件 CAD 技术的研究仍处于不断发展和创新阶段，相关的设计方法学还在形成之中。正 是因为 MEMS CAD 技术的不完善，在微器件设计过程中对 CAD 的应用仍处在一种零散的、 非系统性的状态下；而且在设计过程中，无法有效地对整个设计流程进行必要的控制，也无 法有效地表述微器件设计过程本身的一些特殊要求，如在设计中直接考虑所受的微制造约束 等。因此，从设计人员的角度出发，如何实现更加方便快捷地设计 MEMS 微器件产品、得 到形状直观和加工信息完备的微器件几何模型，是目前微器件设计和开发过程中亟待解决的 问题。 本文以微器件三维模型设计为研究任务，基于 MEMS Top-down 设计理念，对微器件特 征建模工具进行了深入的理论研究和原型系统的开发，通过相关理论的研究与系统实现方 法，建立了一种基于特征的微器件建模方式，使设计人员摆脱了微器件传统设计模式下繁琐 的工艺限制，为实现快速、精确设计微器件模型提供了新途径。 2 微器件Top-down 设计方法 - 1 - ____________________________________________________________________________中国科技论文在线 2.1 微器件设计方法概述 MEMS设计方法学经历了由依靠实际经验进行的加工测试法，发展到围绕MEMS版图布 局与工艺进行计算机辅助设计的 “Bottom-Up ”设计方法，再到现在已逐渐成为MEMS CAD [2] 领域主流设计方法的 “Top-Down ”设计方法，这三种设计方法的大致流程如下图 1 所示 。 制造 测试 版图布局 器件三维 功能与 与工艺流程 实体模型 性能要求 循环