晶圆预对准装置设计与对准算法的研究-机械工程专业论文.docxVIP

上海交通大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明:所呈交的学位论文《晶圆预对准装置设计与对准 算法的研究 ，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的 成果。除文中己经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个 人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法 律结果由本人承担。 学位论文作者签名: J〈泳世 日期:-vv巧年 L 月叫日 沪气气 万方数据 上海交通大学硕士学位论文 上海交通大学硕士学位论文 万方数据 万方数据 晶圆预对准装置设计与对准算法的研究 摘 要 集成电路（IC）作为电子信息产业核心，在市场需求推动下高速 发展。IC 半导体产业的高速发展也为半导体制造装备带来强大增长推 力。其中集束型半导体制程设备（Cluster Tools）能够整合多种制程模 组，具有产能高、弹性大等优点，在半导体设备中占重要地位。设备 前端模组（Equipment Front End Module, EFEM）配合 Cluster Tool 工作， 负责协调未处理与已处理的晶圆传输，并对未处理的晶圆进行预对准。 本课题来源于“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”国家重 大专项子课题，研究的主要任务是完成用于生产 12 寸 EFEM 的晶圆 预对准装置设计以及对准算法的研究。 本文首先对预对准装置的功能和工作流程进行分析，完成预对准 流程和方案设计。根据系统要求，完成对机械本体、驱动部件、控制 系统、真空吸附系统和视觉检测系统的设计与产品选型。 再者对回转半径法、极值法、非线性最小二乘圆法、线性最小二 乘圆法（LLS）、质心法等多种晶圆形心拟合算法进行比较，针对控制 系统低采样点数的特点，通过 Matlab 仿真与数学分析方法对算法特点 进行分析并选择非线性最小二乘圆法作为晶圆形心拟合算法。将晶圆 缺口对准分为粗对准与精对准两步，采用极值法获取缺口定位，提高 了晶圆重复定位精度。 最后，通过实验验证对准算法的有效性与装置特征参数。 关键词：晶圆；对准；质心法；最小二乘圆法 I Research on Wafer Pre-aligner ABSTRACT With the rapid development of Integrated Circuit(IC), the market of semiconductor equipment is also booming. Cluster Tool is one of the most import semiconductor equipment. Famous for high efficiency and flexibility, cluster tool is a mechatronic system integrated several Process Module (PMs). Cooperating with cluster tool, Equipment Front End Module (EFEM) is responsible for wafer transportation alignment. This thesis is supported by the IC Manufacturing Equipment Process from National Science Technology Major Project. The main target of the research is to design a wafer pre-aligner used in 12-inch EFEM and study the alignment algorithm. Firstly, function and production process of pre-aligner is analyzed. According to requirement of the system, mechanical structure, driver, control system, visual detection system and vacuum system are designed. Then a comparison is made between different position algorithm, such as Radius Method, Extreme Method, Non-linear Least Square, Linear Least Squares(LLS) and Centroiding. According to the small sampling nu