基于差动共焦的并行三维形貌检测系统的研究-中国科技论文在线.PDF

第 33 卷第 4 期 中　国　科 　学 　技 　术 　大 　学 　学 　报 Vol . 33 , No. 4 2003 年 8 月 JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA Aug . 2003 ( ) 文章编号 2003 0404 1506 基于差动共焦的并行三维形貌 检测系统的研究 王永红 ,余晓芬 ,黄其圣 ,俞建卫 ,徐科军 (合肥工业大学仪器仪表学院 ,合肥 230009) 摘要 :为提高并行共焦检测系统的测量精度和分辨率 ,基于差动共焦原理 ,提出了一 种全场非扫描三维形貌检测系统. 该检测系统利用微透镜阵列产生的二维点光源阵 列来实现并行全场共焦探测 ;反射光路采用差动设计 ,使用两个 CCD 同步测量离焦 光斑强度信号. 通过使用光斑光强差动算法 ,可以有效抑制光源的噪声和漂移对测量 结果的影响;利用差动共焦特性曲线中的线性关系 ,实现在较大采样间距下获得较高 的轴向分辨率. 实验证明该检测系统是可行的. 关键词 :差动 ;共焦 ;并行探测 ;三维形貌 中图分类号 :O439 ; TN247 　　　文献标识码 :A 0 　引言 共焦测量方法由于其高精度 、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势在生物 医学 、半导体技术等领域得到广泛应用[ 1 ,2 ] . 但是传统的共焦扫描测量方法机构复杂 ,速度 慢 ,越来越不适应现代工业在线快速检测的要求. 近年来一种基于微光学器件的非扫描并行 共焦技术引起各国专家的普遍关注[3 ,4 ] ,这种技术通过微光学器件 ,实现对光束的分割 ,从 单点扫描变为多路并行探测 , 同步对被测表面的不同点进行瞄准检测 ,从而实现全场同步非 扫描测量 ,提高了测量速度. 测量中被测面沿光轴作纵向扫描运动使各探测点通过焦平面 , 通过光电探测器记录最大光强信号的轴向扫描位置 , 由于物体上各点的高度不同 ,相应的各 点到达焦平面的距离也不同 ,物体上各点到焦平面的距离就可以表征物体的轮廓高度. 这种 并行共焦检测方法简便易行 ,但是测量纵向分辨率只在微米量级 ,而且光源的噪声和漂移会 造成全场各微光路的基准不同 , 同时光电探测器件也存在灵敏度问题 ,这些都影响了测量结 果的精度. 为了克服上述光共焦检测方法的不足 ,本文提出一种基于差动共焦的并行共焦检 测方法. 1 　差动共焦法测量原理 传统的共焦光路 ,光源 、物点和针孔探测器处于彼此对应的共轭位置 , 当物体偏离焦平 面时 ,反射光通过针孔到达探测器面的光能量减小 ,这样就可以通过探测光强信号的强弱变 收稿 日期 :20030 106 ( ) ( ) 　基金项 目: 国家自然科学基金项 目 50 175024 ;教育部科学技术研究重点项 目 重点 0 1103 ;合肥工业大学科研 ( ) 发展基金项 目 030 10 1F 　作者简介 :王永红 ,男 ,1972 年生 ,讲师 ,博士生. 研究方向:精密测试技术及光电检测. Email :w yh00 1 @hfut . edu . cn 转载 中国科技论文在线 4 16 中国科学技术大学学报 　　　　　　　　　　　第 33 卷 化来获得轴向位移信息. 共焦系统轴向光强的近似分布公式[5 ] :