一种缓解高速研磨机压头冲击的装置和方法.pdf

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粒磨料慢速研磨中所存在的大部分缺欠。其最大特点是能显著提高研磨加工效率,而 加工效率低是限制传统研磨广泛应用的最大障碍,因此固着磨料高速研磨一出现就受 到了人们的重视。长春理工大学是从七十年代起开始从事固着磨料研磨加工技术的研 究,并成立了专门从事这一技术研究的课题组,探讨了在固着磨料研磨中,研磨压力、 研磨速度、冷却液等对研磨效率和加工质量的影响。这些研究有力的推动了这一新技 术的推广应用m】。 图1.1固着磨料磨具不意图 但固着磨料研磨也存在着一个新问题,就是磨具在研磨中会出现磨损,这就导致 了磨具的面形精度下降,以致被加工件面形精度下降。这就要求人们要及时的经常修 整磨具。以往的散粒磨料研磨,所使用的磨盘加工性相对来说比较好。而用于固着磨 料研磨的磨具表面上固结着极耐磨的磨料。这使得磨具修整十分困难,主要是由于这 个因素限制了固着磨料研磨的广泛应用m。长春理工大学的老师们也早就开始探讨磨具 磨损规律,针对球面研磨,发现了磨具理想磨损的数学表达式,也称为余弦磨耗规律, 并得出根据此规律磨具丸片的分布规则。此后,课题组又专门研究了平面固着磨料研 磨中磨具磨损,并探讨了磨具设计问题。然而磨具磨损是与研磨加工中磨具和工件间 的相对运动及运动轨迹有着十分密切的关系。为此长春理工大学的李懋和老师和刘桂 玲老师又分别探讨了平面研磨和球面研磨中,磨具和工件间的相对运动。而且刘绍东 老师开始从力学角度分析磨具磨损原因。这些研究都是假定工件的转速是已知的,而 且是不变的。因此,这些研究成果对浮动研磨中,工件转速未知的情况,显得勉强, 但这些研究成果都为进一步研究浮动研磨磨具磨损规律奠定了基础…。 进入八十年代,我国从事固着磨料研磨研究的人逐渐增多。较早的有北京理工大 学的查立豫教授,浙江大学的曹天宁教授等。他们既探讨研磨机理、研磨工艺,又探 讨磨具与工件间的相对运动。后来裴庆魁,林锦文,章黎明,王翠娣,王锴,辛企明 等一批专家学者都从事着固着磨科研磨加工技术的研究。特别是华劲松和王忠琪等人 还将固着磨科研磨技术,引入抛光领域,研究新型固着磨料抛光片,用于进行高速抛 光,而且张红霞等人还专门研究了在采用固着磨料抛光片进行抛光中,如何保证工件 2 材料的均匀去除问题”。 不仅国内的专家学者从事固着磨料研磨这一技术的研究,而且国外也有人从事这 一技术的研究。David等人研究了金刚石固着磨科研磨机理,固着磨料研磨加工工件已 加工表面粗糙度及破坏层等的变化规律。其研究的加工材料是玻璃,重点是探讨工件 已加工表面粗糙度和材料去除量随研磨加工时间的变化规律。他们还比较了不同冷却 液的效果,发现了表面粗糙度与破坏层深度有一恒定关系,这就使人们能根据工件表 面粗糙度值来确定下道工序的去除深度“3。 目前国外较重视磨料性能的改进,以及丸片制做技术的研究,探讨如何避免丸片 的脱层及裂缝,避免丸片中混入空气,提高磨料和结合剂的均匀性等…。为了更好地改 善固着磨科研磨效果、提高丸片质量,日本东京大学还研究了利用电泳沉积法制造高 质量、细磨粒丸片,采用他们研制的丸片加工硅片,已加工表面质量得到了很大改善, 达到8咖(波峰一波谷值)。还有人采用金刚石丸片研磨加工球面和非球面,提高了加工 效率,取终了很好的效果m。 为了提高研磨加工生产效率及降低成本,在研磨过程中可以同时加工工件的两个 表面,而不是仅仅一次研磨加工工件的一个表面。于是有人研制出双面研磨机。日本 造了良好的条件。一些学者专门研究将双面研磨技术应用于加工硅片(集成电路的基 片),并成功的应用在生产上。数控研磨机是在工业国家得到迅速发展的机电一体化产 品,适用于加工多品种小批量零件,具有加工柔性好、加工精度高、生产效率高的特 点。数控研磨机的特点及其应用范围使其成为国民经济和国防建设发展的重要装备。 数控研磨机的出现减轻了操作者劳动强度、改善了劳动条件,有利于生产管理的现代 化以及经济效益的提高no】。’ §1.2国内外高速研磨机研究现状 §1.2.1国外高速研磨机研究现状 PLC控制,所有加工参数均由键盘输入并可在监视器上显示。’ELC’系列的一个重要特 来控制并施加压力,这对于脆弱工件的加工尤为重要。另外它还采用了 实现了加工过程中的实时测量。这样,在研磨期间工件的厚度可直接读出。 根据被加工材料的特性和工件对加工精

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