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2007 9 Pho tog raph c Sc ence and P hotochem str y Sept . , 2007
研究论文
( 2--2-)
回 闯, 孟庆伟, 宫 斌, 曲景平
( , 1160 12)
: 甲基丙烯酸( 2- 甲基- 2- 金刚烷) 酯和甲基丙烯酸( 2- 乙基- 2- 金刚烷) 酯是
两 个重要的193 nm 光刻胶主体树脂的单体. 两 个化合物是由2-金刚酮与 甲
烷 乙烷的格氏试剂反应得到2- 甲基- 2- 金刚醇2- 乙基- 2- 金刚醇, 然后在氢化
钠的作用下与甲基丙烯酰氯发生酯化反应制得. 酯化产率50% ) 60% . 产品结
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构经HN MR IRM S 和元素分析表征. 在对甲基苯磺酸- 水合物的催化作用下
对两 个单体进行了水解测试,
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