新型石墨烯气敏传感器发展现状及展望-西华师范大学学报自然科学版.PDF

第３７卷 第 １期 西 华 师 范 大 学 学 报 （自然 科 学 版 ） ２０１６年３月 　 Ｖｏｌ３７ Ｎｏ１ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＣｈｉｎａＷｅｓｔＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅｓ） Ｍａｒ．２０１６ 文章编号：１６７３５０７２（２０１６）０１０１０１０６ 新型石墨烯气敏传感器发展现状及展望 １，２ １ １ 冯文林 ，邓大申 ，秦　祥 （１．重庆理工大学 光电信息学院，重庆　４０００５４；２．现代光电检测技术与仪器重庆市重点实验室，重庆　４０００５４） 摘　要： 气敏传感器广泛用于对工业施工及公共场所中所存在的有毒有害气体进行检测，保障了人类的生产生活 安全。对传统气敏传感器的研究现状以及其与石墨烯结合的新型气敏传感器的研究现状进行概述，并分析了石墨 烯气敏传感器的发展趋势。 关键词： 气敏传感器；敏感材料；石墨烯 中图分类号：ＴＢ３４　　　文献标志码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．１６２４６／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７３５０７２．２０１６．０１．０１５ ０　引　言 随着现代工业技术的飞速发展，工业化的迅速推进在为人类创造出价值的同时也给人类所处的生态环 境带来了严重的污染。工业生产中的原料种类越来越多，合成物的生成反应变得越来越复杂，随之而来的合 成副产物的种类也相对变多。一些生成物中不可避免的存在着有毒的或者可燃性的气体，这些气体一旦浓 度超过安全标准，对人体和设备都会造成恶劣的影响，而气敏传感器的出现使得人们可以对这些有害气体进 行实时监测，有效地避免了因此而发生的恶性事件，保障了人类的生产生活安全。而工业精度要求的提高， 对环境中的气敏传感器的灵敏度提出了更高的标准。目前，需要被气敏传感器检测的气体大致分为 ３ ［１３］ 类 ： （１）可燃性气体：ＣＯ、Ｈ、ＣＨ 等； ２ ４ （２）有毒性气体：ＨＳ、ＣＯ、Ｃｌ、ＨＣｌ、ＡｓＨ（砷烷）、ＰＨ（磷烷）等； ２ ２ ３ ３ （３）大气污染气体：ＮＯｘ、ＳＯｘ、ＨＣｌ、ＣＯ、ＣＨ、ＮＯ、Ｏ。 ２ ４ ２ ３ 除检测上述３类气体外，一些其他功能的气敏传感器也有巨大需求。面对各种各样的待测气体，我们 根据所检测的气体的种类、组成、浓度的差异来确定其检测方法，如电化学法、光学法、色谱分离法等。同时 ［４］ 要求气敏传感器具有如下特点 ：（１）好的选择性；（２）高的灵敏度；（３）好的长期工作稳定性；（４）快的响 应时间；（５）长寿命；（６）低成本，并使用维修方便。 １　传统半导体气敏传感器 对半导体气敏传感器按制作方式和结构方式进行分类，可分为： １．１　烧结型结构气体敏感器件［５］ 烧结型结构气体敏感器件的两种结构分别为直热式气体敏感器件与旁热式气体敏感器件。 直热式气体敏感器件是将气敏材料涂在加热和测量回路的一部分通过煅烧将材料固定，加热回路通电， 测量回路对待测器件的电阻值进行测量。 旁热式气体敏感器件是在绝缘陶瓷管中穿入高阻值的加热金属丝，在陶瓷管外部引出涂有半导体气体 　　收稿日期：２０１６０１２７ 基金项目：国家自然科学基金面上项目；重庆市科委自然科学基金项目（ｃｓｔｃ２０１５ｊｃｙｊＡ５００３４） 作者简介：冯文林（１９７６—），男，四川南部人，博士，教授，硕士生导师，主要从事光纤气敏材料与传感器，发光材料与器件 等研究。 通讯作者：冯文林，Ｅｍａｉｌ：ｗｅｎｌｉｎｆｅｎｇ＠１２６．ｃｏｍ 　　１０２ 西华师范大学学报（自然科学版） ２０１６年 敏感材料的金属电极，就构成了整个敏感器件的结构。 １．２　薄膜型结构气体敏感器件［６］ 在已做处理的石英基片上通过蒸发或者溅射的方法在表面构成一层薄的金属氧化物薄膜层（如 ＳｎＯ、