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25 4 Vo.l 25 No. 4
2008 12 Journal of Guangdong University ofTechnology December 2008
李石栋, 张仁元, 陈观生, 王灵秀
( , 510006)
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: TB302. 2 : : 1007-7162( 2008)04-0013-04
(MEMS), 5mm 012mm. 3320
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: 2008-04-28
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