基于第一性原理计算的空间微波器件低的二次电子发射-机械工程学报.PDF

第 54 卷第 9 期 机 械 工 程 学 报 Vol.54 No.9 2018 年 5 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING May 2018 DOI ：10.3901/JME.2018.09.115 基于第一性原理计算的空间微波器件低的 二次电子发射系数材料的研究* 1 2 1 3 3 王筱杰 王大威 李永东 苌群峰 张楚贤 (1. 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 西安 710049 ； 2. 西安交通大学微电子学院与金属材料强度国家重点实验室 西安 710049 ； 3. 北京航天微机电技术研究所 北京 100094) 摘要：将第一性原理计算方法应用于空间大功率微波器件的低的二次电子发射系数材料的选材研究上。依据材料最大二次电 子发射系数与功函数的关系，发现具有较低功函数的材料可能同时具有较低的最大二次电子发射系数值。以此为基础，对石 墨烯结构覆盖的 Ni(111)和 Pd(111)表面形成的两种复合结构的功函数进行了计算，结果表明复合材料的功函数数值要明显的 低于两种组分材料所具有的功函数数值。这一结果显示复合材料有可能具有较低的最大二次电子发射系数，为低的二次电子 发射系数材料的选材的研究提供了新的思路和方法。 关键词：第一性原理；二次电子发射；功函数 中图分类号：TG156 Low Secondary Electron Yield Materials for Space Microwave Devices Based on First Principles Computation WANG Xiaojie1 WANG Dawei2 LI Yongdong1 CHANG Qunfeng3 ZHANG Chuxian3 (1. Key Laboratory for Physical Electronics and Devices of the Ministry of Education, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049; 2. School of Microelectronics and State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049; 3. Beijing Institute of Aerospace Micro-Electromechanical Technology, Beijing 100094) Abstract ：First-principles computation is used in an attempt to identify materials with low secondary electron yield for high power microwave devices used in space. Based on the relation between the maximum secondary electron yield and the work function of materials, it is suggested that materials with lower work function may have lower maximum secondary electron yield. Following this lead