扫描电镜电子背散射衍射接收及数据处理系统技术-中国显微图像网.PDF

扫描电镜电子背散射衍射接收及 数据处理系统技术改造研制 研制单位 北京有色金属研究总院测试所电镜室 在扫描电镜中安装背散射电子衍射装置并接收材料的晶体学 信息 是八十年代末兴起的一种技术 用该技术可以做许多方面 的工作 例如: 1. 测量研究晶体材料的晶粒取向和晶粒间的取向关系 并获得 晶体微结构的信息 2. 研究晶体材料(如半导体材料等) 中显微缺陷和夹杂的结构 3. 研究第二相或涂层和基体的取向关系 4. 研究材料的织构及材料在热处理过程恢复和再结晶织构的变 化 5. 通过对材料的晶粒和晶界的晶体学研究 测定表面断裂予裂 纹的应力区,研究断口表面的晶体学取向 沿晶和穿晶裂纹的 晶体学关系及疲劳断裂机理 研究材料腐蚀和氧化的晶界行 为等 应用这种技术可以顺利解决 X-光衍射和透射电镜电子衍射 无法解决诸如对于材料表面溅射的小而少的颗粒和涂层的取向分 析等问题 扫描电镜电子背散射衍射技术在自八十年代末发展 至今国 内外已利用这一技术对钛合金 钢材及各种涂层材料做了一些深 入的研究工作 九十年代英国 美国和丹麦生产出电子背散射衍 射装置 近两年国内如清华大学 703 所 上海宝钢集团公司 武汉大学和河北大学等单位先后引进了电子背散射衍射装置 但 由于扫描电镜电子背散射衍射装置和相应的软件价格昂贵 国内 用户难于大量购置和普遍使用 为此北京有色金属研究总院对现 有扫描电镜进行了扫描电镜接收系统的技术改造 自行研制和装 配了电子背散射衍射接收系统 实现了扫描电镜电子背散射衍射 图像接收 数字处理和分析 此项技术改造开发可用于研究材料 1 的晶体结构 测量晶粒的取向 增加和扩大了扫描电镜的分析 测试 研究范围 可提高研究水平并为生产和科研提供必要的科 学数据 我院测试所承担了国家科技部科学仪器设备改造升级技术开 发项目“扫描电镜接收系统技术改造”及 扫描电镜背散射衍射数 据处理系统 经三年的努力在我院 JSM-840 完成了扫描电镜的 电子背散射衍射图像接收系统设计 安装 调试和最后定型 该 装置是国内第一台自己设计制造的扫描电镜电子背散射衍射接收 系统装置并制造了手动 气动两套推进系统装置 填补了国内的 空白 该系统包括 70 试样架 电光转换器件 X-射线防护窗 口 光学传递单元 摄像单元 图像收集和积累控制单元 图像 数字处理与显示 全自动的图像识别和标定以及存储打印输出等 部分组成 整套系统安装在扫描电镜试样室为波谱仪预留的窗口 位置上 安装后 满足原有电镜的真空 磁场空间分布及X 射线 防护等方面的要求 该系统设计和制造了精巧紧凑 使用方便 选用了A B 型两种形式CCD A 型CCD 摄像单元,通过控制信 号电路提高电光转换效率和图像软件处理等措施来提高灵敏度 降低噪音 使采集图像质量接近国外装置的水平 又降低了成本 此装置是为我国大多数的扫描电镜型号研制的装置 价格适合国 内用户承受能力 于2000 年3 月28 日通过国家科技部验收 并 得到了专家的好评 B 型冷却的 CCD 摄像单元是采用半导体制 冷 抑制噪音 具有较高的灵敏度 此项技术改造的硬件已完成 正在完善及优化软件 采集到的图像质量达到国外装置的水平 此项目的技术指标如下 电子束扫描控制系统指标: 最大的扫描图象象元数 4096 4096 扫描输出频率 1MHz 输出字节 12bit 输入范围 8 V. 2 表1 摄象单元性能指标 普通式CCD