SHG-PI-066 VCP连续电镀作业指导书.docxVIP

文 件 修 改 记 录 页码 版本 修改内容 生效日期 All A.0 首次颁布 2016-12-16 受 控 文 件 保 管 者 记 录 序号 分发单位 1 生产部 总页数： 共 NUMPAGES \* MERGEFORMAT 19 页 编 制： 审 核： 批 准： 1.0目的:为 VCP 连续电镀铜线提供一份操作指引，避免因操作不当导致产品品质问题。 2.0范围:适用于 VCP 连续电镀铜线的生产操作。 3.0定义:VCP:加厚孔铜及表铜厚度。 4.0职责: 4.1 生产部:负责日常生产操作及保证工作参数条件正常、药品添加，机器日常保养。 4.2 工艺部:负责为流程问题提供技术支援，负责日常药水分析，并发出药水调整指示。 4.3 维修部:负责生产设备的维修服务及保养。 4.4 品保部:负责生产产品的品质监控及生产制作过程的监控。 5.0作业内容: 5.1 流程：上板→酸洗→前缓冲→电镀铜→后缓冲→二级加压水洗→下板烘干→退镀→上喷水洗→上板 5.2 工艺参数要求: 缸名 药水名称 控制范围 缸体积 最佳管控 分析频率 过滤 循环 循环 流量 处理 时间 操作 温度 备注 酸性脱脂（酸洗） 硫酸 3-5% 1026L 3% 1次/天 有 无 1-3min 25 铜缸 硫酸铜 70-9 21000L(不包括副槽） 80g 1.药水分析：2次/周 2.槽片分析： 1次/周 有 350-550L 30-60min 25℃ 硫酸 200-240 g/l 22 CLˉ 50-70ppm 60ppm 铜光剂FV-100 5-15 ml/l 8-12ml/l 自动加药标准：1.FV100A:FV100C=10：1 2.60-120ml/KA.H 退镀 硝酸 25-40% 450 35% 1次/天 无 / 1-5min 室温 注：每月定期取铜缸样做光剂的 CVS 分析，分析其中光剂和有机物（TOC）含量分析。结果报告由化验室保存，如果结果超出控制范围立即按供应商提供的方法调整。 1. TOC 含量标准:TOC≤5000ppm 2. CVS/TOC 外发分不合格时处理方法: a. TOC 超标时立即安排碳处理，碳处理前如继续使用需对生产板做热冲击测试，如孔铜异常立即停止生产。 b. CVS 分析光剂不合格时，首先根据分析结果对药水进行调整。同时进行 HULL CELL 测试和热冲击测试，两种测试都无异常时可继续生产，如有异常，须对此期间生产板进行隔离评估。 5.3 设备能力 项目 范围 数量 功率 备注 生产板最大尺寸 622mm*547 / / / 生产板最小尺寸 355mm / / / 生产板最大厚度 3.2mm / / / 生产板最小厚度 0.2mm / / / 最快输送速度 1.1m/min / / 最慢输送速度 0.3m/min / / 均匀性要求 ≤5% 电流密度40ASF，孔铜25um 延展性要求 ≥20% / / / 深镀能力 0.25mm 孔径，纵横比 6.4：1 的通孔，电镀参数：25ASF×50min， 深能力≧85%。 5.5单轨式垂直连续电镀铜设备开机前注意事项: 5.5.1合在电箱面板上电源总开关（扳到ON位置），启动上料区控制电箱面板上的控制电源按钮。 上料区电源控制按纽 上料区电源控制按纽 5.5.2确认各紧急停止及拉绳开关处于正常状态。 5.5.3确认温度，液位，循环泵，过滤泵，整流器，纯水，冰水系统，添加泵，鼓风机，气压是否正常。 5.5.4确认各进水管，排水管阀门是否处于正常位置。 5.5.5检查各感应器，限位开关，传输装置是否异常。 5.6单轨式垂直连续电镀铜设备开关机步骤: 5.6.1开机前确认事项： 5.6.1.1确认各周边设备处于开启状态。 5.6.1.2检查各阳极升降机构是否归定位，上下料是否在原位，完成后待机完成指示灯亮起。 5.6.1.3确认整流器模式为自动模式。 5.6.2开启自动运转，按下自动按钮3秒钟后，发出开机提示音6秒后，系统自动运行。 5.6.3从监控系统里输入产品资料，确认上料资料无误后传送到PLC，把上料/不上料开关打到上料，设备开始上板；把上料/不上料开关打到不上料，设备停止上板。当传动速度不同时必须清除前处理槽和铜槽前所有产品才能在上板。 5.6.4当上料完成后，待所有生产板下料完毕，按下触摸屏里的自动停机画面里的停止按钮3秒后，系统开始自动关闭程序，各移载升降回到起始位，待机完成指示灯亮起，系统停止运转。 5.6.5关闭所有周边设备，按下控制电箱上的控制电源停止按钮，切断控制电源。 5.7指示灯介绍： 5.7.1自动指示：设备自动运转状态下指示灯一直亮；自动停止不亮。 5.7.2停机指示：设备出现故