AFM动态电场诱导氧化加工与其电流检测.pdfVIP

第一章绪论 第一章绪论．弗一早殖比 1．1纳米科技 1．1．1纳米科技概述 纳米科技是一门应用科学，指在纳米尺度上研究物质和设备的设计方法、组 成、特性以及应用的多学科交叉的科学和技术。它对于今后的新材料学、信息科 学、生命科学、分子生物学和生态系统可持续发展科学等的发展提供一个新的技 术基础。 目前定义纳米尺度为0．1nm到100nm。在纳米尺度下，一系列新的物理现象 显现出来。同宏观系统相比，许多物理性质会改变，如材料的表面体积比。由于 纳米尺度下的量子效应、物质的局域性、巨大的表面效应及界面效应，这使得物 质的很多性能发生质变，呈现出许多既不同于宏观物体，也不同于单个孤立原子 的奇特现象。因此纳米科技是现代科学(混沌物理、量子力学、介观物理、分子 生物学等)和现代技术(计算机技术、微电子技术、扫描隧道显微镜技术、核分 析技术等)结合的产物。纳米科技的最终目标是直接以原子、分子及物质在纳米 尺度上表现出来的新颖的物理、化学和生物学特性制造出具有特定功能的产品。 纳米科技的最初灵感可以追溯到上世纪60年代。1959年12月29日著名物 理学家理查德·费曼(Richard Feynman)在加州理工学院出席美国物理学会年 会时，发表了著名的演讲《在底部还有很大空间》，提出了纳米科技的雏形。他 以“由下而上的方法”(bottom up)出发，提出从单个分子甚至原子开始进行组 装，以达到设计要求。他说，“至少依我看来，物理学的规律不排除一个原子一 个原子地制造物品的可能性。’’并预言，“当我们对细微尺寸的物体加以控制的话， 将极大得扩充我们获得物性的范围。”1974年，日本学者谷口纪男(Norio 制造工程学术会议上所作的主题报告中，首先提出“纳米技术”这一名训¨。当 时提出这一概念是预测超精密加工的最终目标，即加工精度达到lnm量级。因此， 纳米技术最初所包含的范畴很窄，仅限于超精密加工领域。1981年，扫描隧道 在IBM位于瑞士苏黎世的苏黎世实验室发明。STM使人类第一次能够实时地观察 单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质，在表面科 第一章绪论 学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景。因 此STM的发明被广泛视为纳米元年。1990年，IBM公司的科学家利用隧道扫描 显微镜上的探针，在镍表面用36个氙原子排出“IBM’’三个字母。这是人类历 史上首次操纵原子，科学家们从中看到了设计和制造分子大小的器件的希望。 1993年，中国科学院北京真空物理实验室操纵原子成功写出“中国”二字，标 志着我国开始在国际纳米科技领域占有一席之地【21。 从1990年3在美国巴尔的摩举办的第一届国际纳米科技会议至今，纳米科 技作为一崭新的科学技术迅速兴起和发展，众多国家都己将纳米技术列入关键研 究领域。美国自1991年以来，先后把纳米技术列入了“政府关键技术”、“本世 纪末下世纪初的重大研究方向”、“2005年的战略技术。在欧洲，德国最早组织 纳米大型科研。1998年，德国教育与研究部成立了六个纳米技术的研究项目， 正式开展了纳米技术的研究。2002年5月，德国政府召开了“纳米技术大会”， 大会提出了德国发展纳米技术的战略行动框架。日本从1991年开始实施为期10 年、耗资2．25亿美元的纳米技术研究计划，将此技术作为政府、企业和大学合 作研究的三项重大基础研究课题之一。1995年又将此列为今后10年日本应开发 的四大基础科学技术项目之一，并制定了具有挑战性、战略性的基础研究推进计 划。日本政府于2001年3月提出的第二期科技基本计划中，将纳米技术作为重 点发展的四个领域之一。日本计划从2002年到2007年进行纳米测量技术和加工 技术的研究，从2002年启动纳米材料生产和纳米级半导体技术的研究，从2003 年至2008年进行纳米仿真技术的开发，至2010年探明纳米结构的理化基础，完 成纳米技术体系的构建。我国也在1993年成功地举办了第七届国际STM会议， 众多科研机构和院校也逐步加大了在纳米科学技术研究领域的投入。2003年12 月，我国成立了国家纳米科学中心加强和引领纳米领域的科学研究。 纳米科学技术不仅对于基础研究来说有着诱人的前景，而且更具有前所未有 的广阔应用前景