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技术文章
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MEMS加速度计
性能已臻成熟
Ed Spence
ADI公司
2016年6/7月份的Uptime 文章“状态监控和MEMS加速度计：你需 电机未对准仿真
要知道什么”中，介绍了微机电系统(MEMS)加速度计的多项特
在振动测试仪上重建了一个实际场景，例如在基于振动的状态
性，它们使得该技术对状态监控应用极具吸引力。本文通过回
监控中所述的场景，以便利用已知激励信号比较器件。本例展
顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其
示了一台以5100 rpm (85 Hz)运转的汽轮机和一台未对准的3000
与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。
rpm (50 Hz) 同步发电机的振动水平。该场景说明的是采用随机
振动测试模式时，振动系统经编程所产生的频率和振幅。表1
对MEMS工艺技术的投资加上设计创新，已大大改善MEMS性
列出了两个器件在目标频率的振幅测量结果。
能，使得MEMS足以成为更广泛状态监控应用的可行选择。采
用专门化MEMS结构和工艺技术，现在已实现谐振频率高达
表1. 电机未对准仿真设定点
50 kHz 、噪声密度低至25 μg/√Hz的加速度计。通过精心设计的
信号调理电子电路，可以充分发挥此类新型加速度计的低噪声 信号音 频率 水平
优势。 (#) (Hz) g 峰值
1 50.00 0.400
2 85.00 0.400
Noise Level = 1.05 μV√Hz 3 100.00 0.250
= 25.9 μg√Hz
4 170.00 0.250
10–5 图2显示了21 kHz谐振频率的MEMS加速度计和25 kHz谐振频率的
)
z PZT传感器的频谱测量结果。MEMS加速度计在1 Hz至1 kHz频段
H
√
V
(
D 中的均方根(rms)输出要比PZT加速度计高出大约30 mg 或1.7%。
S
P
10–6
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