氟化聚合物光谱响应平坦化阵列波导光栅的优化设计和制备-电子学报.PDF

第 期 电 子 学 报 ３ Ｖｏｌ．３９ Ｎｏ．３ 年 月 ２０１１ ３ ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｍａｒ． ２０１１ 氟化聚合物光谱响应平坦化阵列 波导光栅的优化设计和制备 ， １２ ２ 秦政坤 ，马春生 （ 吉林师范大学信息技术学院，吉林四平 ； 集成光电子学国家重点联合实验室，吉林长春 ） １． １３６０００２． １３００１２ 摘 要： 本文基于阵列波导光栅（ ）的传输理论，利用含氟聚合物（ ）共聚物材料，对 信道 ＡＷＧ ＰＦＳｃｏＧＭＡ １７×１７ 光谱响应平坦化 波分复用器进行了参数优化 由于在聚合物阵列波导光栅器件的制备过程中，选用了反应离子 ＡＷＧ ． 刻蚀（ ）工艺和蒸汽回溶技术，形成的梯形截面波导芯，使 传输的光产生相位移，导致传输光谱移动，引起串扰 ＲＩＥ ＡＷＧ 的变化 为此我们运用等效能流分析方法对矩形截面 器件的参数进一步修正，通过优化设计弥补了工艺的不足 ． ＡＷＧ ． 实验测试结果表明： 中心波长约为 ， 带宽约为 ，中心波长插入损耗约为 ，串扰约 ＡＷＧ １５５０８６５ｎｍ３ｄＢ ０４７８ｎｍ １０５ｄＢ 为－２１５ｄＢ． 关键词： 集成光学；阵列波导光栅；光谱漂移；梯型截面；等效能流；串扰 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ２５２ ＴＮ２５６ Ａ ０３７２２１１２２０１１０３０６０９０４ ＯｐｔｉｍｕｍＤｅｓｉｇｎａｎｄＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆａＦｌｕｏｒｏｐｏｌｙｍｅｒＡｒｒａｙｅｄ ＷａｖｅｇｕｉｄｅＧｒａｔｉｎｇｗｉｔｈＦｌａｔＳｐｅｃｔｒａｌＲｅｓｐｏｎｓｅ ， １２ ２ ， ＱＩＮＺｈｅｎｇｋｕｎ ＭＡＣｈｕｎｓｈｅｎｇ （ ， ， ， ， ； １．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＪｉｌｉｎＮｏｒｍａｌＵ