传感器原理及应用第6章压电式传感器.ppt

传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.1 压电传感器等效电路 等效电压源 等效电流源 传感器接测量电路时还要考虑 电缆等效电容Cc、 输入电容Ci、 放大器输入电阻Ri、 传感器漏电阻Ra。 测量 仪器 前置 放大 传感器 压电传感器 简单测量系统 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.1 压电传感器等效电路 根据等效电路压电传感器灵敏度有两种 等效电压源 等效电流源 根据它们之间的关系有： 电压灵敏度 电荷灵敏度 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.1 压电传感器等效电路 由等效电路可见，只有在负载RL→∞时（无漏电），受力产生的电荷Q才能长期保存下来，否则放电回路很快将电荷放掉，因此测量频率较低时必须保证RL很大,使RLCa= τ足够大。 压电元件内阻很高需要前置电路有高的输入阻抗。 前置电路有两个作用 一是放大微弱的信号 、二是阻抗变换 根据等效电路压电元件输出可以 是电压源也可以是电荷源。 因此， 前置放大器也有两种形式： 电压放大器 、电荷放大器 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.2 测量电路 ?????（1）电压放大器????? 电压放大器等效电路示意图 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.2 测量电路 （1）电压放大器（阻抗变换器） 如果压电元件沿电轴为正弦作用力变化， 产生的电荷与电压也按正弦变化: 理想情况输入电压幅值 输入的实际幅值 （有效值） d 压电系数 ω 信号频率 R = Ra//Ri 相位差 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.2 测量电路 （1）电压放大器 传感器电压灵敏度 前置放大器实际输入电压与理想输入电压的比值为： 令前置放大器输入回路的时间常数为： 相对幅频特性和相频特性分别为： 理想 实际 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.2 测量电路 讨论： （1）电压放大器 压电传感器不能测量静态物理量； 当ωτ≥3时输入与信号频率无关，高频响应特性好，优点； 提高低频响应的办法是增大τ，但不能靠输入电容Ca,因为电 压灵敏度与电容成反比。实际是增大前置输入回路电阻Ri.。 从传感器电压灵敏度Ku可见，连接电缆的分布电容Cc影响传 感器灵敏度，使用时更换电缆就要求重新标定，测量系统对 电缆长度变化很敏感，这是电压放大器的缺点。 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.2 测量电路 电压放大器实例： 阻抗变换电路，用场放应管实现高阻抗匹配的放大自举反馈电路（跟随器）。 R1、R2分压，经 Rg 耦合作场效应管偏置。 观察Rg两端电压，信号到经C1耦合到Rg 的A端，由于场效应管跟随作用，使S（源） G（栅）间电压大小近似相等、相位相同。 信号经C2耦合到Rg的B端，这时Rg两端电 压近相等，Rg上的电流很小，意味着场效 应管的输入阻抗并没有因分压电路而降低。 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.2 测量电路 （2）电荷放大器 为解决电缆分布电容Cc对传感器灵敏度的影响和低频响应差的缺点可采用电荷放大，而且集成运放组成的电荷放大器有较好的性能。电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的前置放大器。利用电容作反馈元件的深度负反馈的高增益运放。 其输出电压为： 压电传感器的输入电路由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。因运放输入端阻抗高，几乎无分流，可忽略Ra、Ri并联电阻 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路6.4.2 测量电路 （2）电荷放大器 工作频率足够高时（RfXc），忽略（1+A）/Rf＜＜ωCf 可求得电荷放大器输出电压 可认为电荷放大器 一般都满足理想条件 当A 1满足，通常A=104～108 通常:Ca=几十pf,Cc=100pf/m, Cf=102-108pf,A105, ∴（1+A）Cf Ca+Ci+Cc 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.2 测量电路（2）电荷放大器 讨论： 电荷放大器的输出电压U0只取决于输入电荷Q和反馈电容Cf，输出电压与电缆电容Cc无关，与Q成正比，与电容Cf成反比，这是电荷放大器的突出优点。考虑不同量程因素Cf的容量做成可以选择的电容，一般为100～104pF。 缺点是电路