超精密装置PID振动控制系统的设计实施方案与动(论文).docVIP

个人收集整理 仅供参考学习 个人收集整理 仅供参考学习 PAGE / NUMPAGES 个人收集整理 仅供参考学习 摘 要 在仿生啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理地基础上，采用主动隔振技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型.结合超精密装置隔振系统地结构特点和性能要求，采用闭环PID主动控制系统，用MATLAB软件进行了仿真分析研究.仿真分析结果表明，该振动控制系统宽频率范围内具有良好地减振效果，该系统可应用于超精密测量、超精密制造设备地隔振领域. 关键词：超精密装置；仿生学；主动振动控制；PID控制 Abstract To keep the ultra-precision device from the micro-disturbance of environment, a structure and kinetic model of a vibration control system were established with a passive air-spring which reduces vibrations of high-frequency area and a giant magneto strictive actuator which reduces those of low-frequency area, which is imitative o