我国超纯砷烷产业化生产技术研究①.PDF

第 24卷第 6期 低 温 与 特 气 Vol24 , No6 2006年 12 月 Low Temp eratu re and Sp ecialty Ga se s D ec, 2006　 特气制备 我国超纯砷烷产业化生产技术研究① 孙福楠 (光明化工研究设计院 , 辽宁 大连 甘井子 甘北路 34 号 　116031) 摘要 : 砷烷是电子气体中用途十分广泛 , 技术难度非常大的烷类气体 , 它是一个国家电子气先进与否的重要标 志 。超纯砷烷的产业化技术 , 涉及到砷烷的合成 、净化 、分析检测等诸多专业 , 为发展我国 IC产业 , 尽快开展 超纯砷烷产业化技术研究意义重大 。 关键词 : 砷烷 ; 合成 ; 净化 中图分类号 : TQ 117 文献标识码 : A 文章编号 : (2006) 060024 04 Study of The Indu str ia l Production Technology For Ultra H igh Pur ity A r sine in Ch ina SUN Funan ( Guangm ing R e search D e sign In stitu te of Chem ical Indu stry, D alian 11603 1, Ch ina) A b stract: A rsine is an alkenes ga s wh ich has exten sive u se and extrem ely difficu lt techno logy in electron ic ga ses. It is an important sign whether technologically advance of the electron ic gase s in a country. The indu strial p roduction technology for u ltrah igh pu rity arsine invo lve synthe sis, p urifyication, analyse and in sp ection p rofe ssion s. It ha s an important sign ificance to the IC Indu stry of ou r coun try that p ut into study of the indu strial p roduction technology for u ltrah igh pu rity arsine as soon a s po ssib le. Key W ords: arsine ; syn the sis ; pu rity 1　前 　言 造 , 因此 , 砷烷也属于高度禁控化学品。 近年来 , 我国 IC 产业发展异军突起 , 已成为 世界晶圆加工基地之一 , 每年需要大量的优质高纯 超纯砷烷是光电子 、微电子重要的原材料 , 也