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盲孔单边孔型异常改善 上晦美维曹奇志张大伟孙成洲用长春黄伟 屯子有限公司 摘要：对于二阶叠盲扎醴计、内膳百孔采刖电镀填扎r岂、外层卣孔为普通电镀工艺．此类设计外 层激光盲孔电镀后在盲孔周围会园过烧蚀而出现啦边孔型异常，对产品品质造成一定的影响。本文 从内层电镀填盲孔效果、压板前表面处理方式、内外层激光孔对位精度、外层直孔激光钻孔能量分 布设置等四个方面出发，对激光盲扎过烧蚀产生的原闻进行了研究，使该缺陷能够得到有教控制。 Abs”an：About2s订I】cOlteHDIviaovcrburndefencanbebuad drillif stops dmfngout㈣layerlayer Inthis themar-layerviaisplatedwithcopperfilling毗hniqucwhichmay㈨$oMcqualiwfaulb roo￡cu辩sofovc[删bum via paper,the m$ol出edfromthefollowingfouraopccts．theinner-layercopper result，thesurfaccoxidationtreatment，tbeaLignmentmodeoflaserdrillingandthelaserenergy filling distribmlonofout—Layerlaserdrilling 关键词：叠扎设计电镀填孔过烧蚀对位精度能量分却 SBaclurc OverBumSurface№alment Keywords：2steps CopperFilling aligmnentprecision Energydismbutioa 1．前言 当PCB采用二阶叠孔设计时，在外层激光钻孔时经常会出现激光舟孔单侧过烧蚀情况． 如下图1所示。该缺陷小仅会带来外观表观不良，同时给HDI扳品质带来定隐患。为 此从内层电镀填盲孔效果、内层压板前表面黑棕化处理方式、内外层激光孔对位精度、 外层激光盲孔能量分布设置共四个因素进行初步分析研究，发现问鹿之所在．使该问题 得到改善。 懿『、。 i 一?目E!-!!■ 图l：过烧蚀盲孔缺陷照片 2．激光过烧蚀原因分析 对激光过烧蚀的可能原因进行因果分忻，井设计相应的实验方案。因果关系囤如图 图2：过烧蚀因果关系掏 根据分析的因果关系图设定如下实验方案：实验基板为6层结构，板面图形为链状 图形分布，整个板面共30条链，每条链共30个重复单元，单元结构如图3所示。 ＼√国 图3：测试单兀图彤分布 2ASD、I L2／5电镀时通过调整电流密度来控制不同的填平结果，实验设定i 5ASD、 1 8ASD共3个水平：L2／5表面处理方式设定黑化和棕化2个水平：外层压合时激光孔 对位精度偏差设定0mil、2mil共2个水平。每个条件各生产l片试扳，试板生产条件 及编号如表1所示。每个板面各用3种不同的激光参数进行钻}L，每个参数钻10条链 表l实验扳制作条件及编号 制板编号 3 8 12 L内层电镀 l 5ASD 1．8ASD l表面处理 黑化