白光干涉系统光源输出强度搭配不同物镜与有效波长关系之研究.PDFVIP

白光干涉系統光源輸出強度搭配不同物鏡與有效波長關係之研究 王裕方 陳鵬帆 致茂電子股份有限公司 致茂電子股份有限公司 joseph.wang@.tw winson.chen@.tw 摘要 本論文為探討在白光干涉系統中，光源輸出強度改變時，在搭配不同倍率物鏡的情況下對其平均 波長產生的影響，以及不同光源強度下對量測結果的影響。知道光源強度與波長的關係及趨勢後，在 量測前配合其光源強度設定適合波長將助於白光干涉系統提昇量測精準度。 關鍵字：光源強度、波長、物鏡 壹. 前言 在白光干涉系統中，其最基本的概念乃是經由找到在待測物各點產生最大干涉亮紋的高度來量測 出物體表面形貌，而隨著運算速度和精密度要求上的不同，所套用的演算法也隨之不同。如何有效地 利用現有資訊，快速並精確地量測出物體形貌是這些演算法的重點。而波長在能取得的資訊中扮演著 十分基本且重要