基于微流控芯片的气体分离与检测技术研究-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

Dissertation Submitted to Hebei University of Technology for The Master Degree of Instrument Science and Technology THE DESIGN OF GAS SEPARATION AND DETECTION TECHNOLOGY BASED ON MICROFLUIDIC CHIP by Hou Xiaowei Supervisor: Prof. Zhang Sixiang April 2015 This work supported by the National Key Scientific Instrument and Equipment Development Projects of China. No. 2012YQ060165. I PAGE PAGE II PAGE PAGE III 摘 要 恶臭气体引发的环境问题给全球带来严重的危害，恶臭气体监测正在成为环境监 测的一个重要组成部分，气体检测器与气体分离器是实现恶臭气体定性、定量分析的 关键器件，是恶臭自动在线监测仪器的核心部分。因此，开发气体检测器与气体分离 器具有重要的现实意义。 通过进行大量文献查阅工作，论文深入归纳总结了气体分离与检测领域的最新研 究进展和发展方向。在此基础上选准了基于微流控芯片的气体分离与检测研究方向， 通过理论研究与实验分析相结合的方法，开发了一种可用于恶臭自动在线监测仪器的 气体分离与检测器。 论文首先介绍了色谱理论，将微流控芯片技术与气相色谱技术相结合，提出了一 种采用微流控芯片作为分离器，以光离子化检测器作为气体传感器的检测方案。 利用流体仿真软件 COMSOL 进行微流控芯片气体分离仿真，开发了填充式微流 控芯片以及毛细微流控芯片。确定了芯片为 S 型通道，尺寸为 115×60×6mm。填充式 微流控芯片通道横截面为内径 1mm 的圆形，总长度为 1.8m；毛细微流控芯片通道横 截面为内径 0.4mm 的圆形，总长度为 6m。均采用喷砂工艺刻蚀通道以及热键合技术 进行芯片键合，分别对微流控芯片通道涂敷不同极性的固定液。 通过对光离子化原理以及特性分析研究，选用了电离能为 10.6ev 的紫外光离子化 灯以及不锈钢电极材料，设计了相应的驱动电路以及微弱信号调理电路，最后分析了 检测电路对单一组分气体浓度的响应关系，并对响应曲线进行了拟合。结果表明检测 电路具有良好的重复性和较好的检测精度。 论文的实验部分进行了恶臭检测系统的稳定性和重复性测试；分析了温度和压力 对检测系统测试效果的影响；最后研究了不同固定相对相同浓度组分的分离效果；通 过对色谱图进行分析，计算出理论塔板数、保留时间、半峰宽以及分离度，结果表明 检测系统能够满足对恶臭气体检测的基本要求。 论文最后也对研究工作存在的不足和改进措施进行了叙述，并对今后研究的发展 方向进行了展望。 关键词：气体分离 气体检测 气相色谱 微流控芯片 光离子化检测器 PAGE PAGE V PAGE PAGE VI ABSTRACT The environmental problems caused by the odor causing serious harm to the global,malodorous gas monitoring is becoming an important part of the environmental monitoring.Gas detector and gas separator are the key component in qualitative and quantitative analysis of the odor gas and the core part of the automatic on-line monitoring instrument.Therefore,developing gas detector and gas separator has great significance. Through checking a large number of literature,the paper summarizes the latest research progress and development direction in the field of gas separation and detection.Based on the theory,gas separation and detection on the basis of microfluidic