龙翩真空镀膜自动化手册(使用者).docVIP

視窗版自動化鍍膜製程系統 操作手冊 　　使用單位：PreOptix 　　編寫單位：永韶科技有限公司 　　　版權所有：永韶科技有限公司　 翻印必究 編寫時間：2009 01/13 版 本：3.0 　 視窗版自動化鍍膜製程系統目錄 1.如何進入自動化鍍膜製程系統 2.製程系統架構 2.1 檔案 2.2 硬體設定 2.2 功能測試 2.3 製程分析 2.4 製程監控 2.5 線上量測 2.6 其他功能 3.鍍後檢視系統架構 3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 4.系統概要 4.1 系統特色 4.2 監控系統簡要 1. 如何進入自動化鍍膜製程系統: 1.1 開啟電腦進入視窗(Windows)作業系統後,點選桌面捷徑(須注意開啟路徑是否正確)即可開啟畫面如下圖: 注意：1) 中間顯示圖框會出現兩次，第一次顯示，提示所載入之製程檔(***.tfc)，一般是上次最後一次進入之製程檔，提供操作者判斷所選擇之製程檔是否正確，不正確就需重選。 2) 按下 OK 會出現另一個提示圖框，顯示是否正確載入製程分析檔(***.mit) ，若顯示無法讀取此檔資料，即可能上次新建立之製程檔時，沒有正確的分析及存檔，必需重新分析存檔，如此才能進入蒸著程序。 3) 再按下 OK 即可呈現下面圖示，此圖示即為此製程執行檔之主畫面。 1.2 Auto1 執行檔若出現問題，無法正常關閉時，請使用 Windows 之工作管理員將auto1.exe 關閉，再開啟 Auto1 即可。 2.系統架構: 此系統主要功能 分為下列七大項，將逐項說明。 2.1 檔案 建立新製程檔、開啟已存製程檔、存檔及另存新檔 2.2 硬體設定 電腦與硬體之連線設定如 PLC，真空計，石英振盪…等 2.3 功能測試 細部製程相關硬體測試 2.4 製程分析 製程檔案編輯、材料檔編輯及膜層分析 2.5 製程監控 自動蒸著、補層蒸著、製程相關資料檔編輯及各顯示畫面 2.6 線上量測 可將廣波域當光譜儀量測,暗電流校正及重新取光 2.7 其他功能 計算nk值及膜厚微調 PS: 1)主功能或次功能出現反白時，表示此功能在此系統不提供或在此狀況下無法作動。 2)主功能下方有訊息提示欄，顯示動作訊息，有助對系統動作的掌握與除錯。 2.1 檔案功能 此主下拉功能細分下列幾項次功能 2.1.1 新製程檔 2.1.2 開啟製程 2.1.3 存檔 2.1.4 另存新檔 2.1.5 英文顯示 2.1.6 中文顯示 2.1.7 離開 2.1.1 新製程檔： 游標移至檔案，按下滑鼠左鍵，即呈現如上圖之畫面，選擇”新製程檔”,即可進入新製程檔設定畫面,如圖2.1-01，按一下”顯示資料”即呈現如圖2.1-02，在此畫面下即可進行編輯。 圖2.1-01 圖2.1-02 PS: 1)新製程檔名內定為 NomeName.tfc，以前一次所開啓之檔案為樣板，建議另存新檔、更名後再進行編輯。 2)如何編輯製程檔資料，詳細見後。 2.1.2 開啟製程： 將游標移至”檔案”?”開啟製程”點選,即可出現如圖2.1-03之畫面。在此畫面下即可點選之前已存舊檔案，開啟舊檔後便可進行編輯(副檔名為*.tfc)。 圖2.1-03 2.1.3 存檔： 將游標移至”檔案”?”存檔”點選,即可進行檔案儲存,需注意檔案存檔路徑以及檔名，如下圖2.1-04、圖2.1-05。必須密碼正確才允許存檔。 圖2.1-04 圖2.1-05 2.1.4 另存新檔： 將游標移至”檔案”?”另存新檔”點選,即可出現如圖2.1-06之畫面，在檔案名稱位置上輸入所要儲存之名稱(不需輸入副檔名，系統會自動添加)，再按存檔鈕即可存檔。 圖2.1-06 2.1.5 英文顯示: 可將系統顯示切換為英文顯示，如圖2.1-07 圖2.1-07 2.1.6 中文顯示 可將系統顯示切換為中文顯示 2.1.7 離開: 點選”檔案”? ”離開”,即可關閉此系統。 2.2 硬體設定功能 此主下拉功能細分下列幾項次功能 2.2.1 主控 PLC 介面 2.2.2 真空計介面 2.2.3 石英振盪器介面 2.2.4 膜厚監控器介面 2.2.5 離子鎗流量控制器介面 2.2.6 離子鎗陰極控制器介面 2.2.7 離子鎗陽極