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MILC Ni Crystallization induction window 金属诱导侧向晶化 （Metal Induced Lateral Crystallization, MILC） MILC方法是利用Ni等金属薄膜侧向诱导非晶硅薄膜晶化的方法，其主要优点是： 一 晶化温度小于500度，属于低温晶化 二 易于实现大面积晶化的均匀性 三 晶化系统设备投资较低 MILC晶化的主要缺点是： 一 该方法需要较长的处理时间，通常在3小时左右。 二 金属的引入也易于造成污染，使器件中的泄漏电流增大。 低温多晶硅技术 准分子激光晶化方法的主要优点是： 一 激光晶化操作简单，与大规模集成电路工艺兼容性好； 二 处理时间极短，表面层不易污染，易于获得浅的晶化区域； 三 可以高度定域，激光晶化只在退火区域才接受热辐射，其余区域低温状态，变形小，这有利于提高产品的成品率 四 通过控制激光波长和脉冲宽度，可使硅溶化时间短，基板发热小 激光晶化的主要缺点是： 一 光晶化系统设备投资昂贵。 二 由于激光束扫描均匀性等问题，大面积显示器晶化的均匀性有待提高 低温多晶硅技术 材料的蒸发温度在+/-0.1C 膜厚均匀性± 1～3％ 蒸镀过程的中关键设备---Thermball 有机薄膜厚度优化 有机薄膜厚度优化 有机薄膜沉积速率优化 HTL-1 EML-1 有机薄膜沉积速率优化 (a) 0.02nm/s (b) 0.09nm/s (c) 0.24nm/s (d) 1.33nm/s 有机薄膜沉积速率优化 HTL-2 染料掺杂浓度的研究 E：0wt％, F：0.33wt％ G：0.43wt%, H：1.1wt% I：3.7wt% GD-1 染料掺杂浓度的研究 GD -2 蒸镀过程中关键设备---封装技术 EL glass UV seal Cap glass Bubble press 4 有机发光显示器件工艺技术 有机发光显示技术 1基本概念 2有机发光显示技术发展过程 3有机发光材料 4有机发光显示器件工艺技术 5有机发光显示器件驱动技术 6新型有机发光显示若干关键技术 彩色化，高分辨（隔离柱），寿命，器件效率（功耗） ITO薄膜技术，发光材料纯化技术，OLEDoS，AMOLED， FOLED，WOLED， 5.1 有源驱动－无源驱动 根据驱动电路与基板的关系，有机电致发光显示器分为有源驱动和无源驱动有机发光显示器两大类。 所谓有源驱动有机发光显示器是指外围驱动电路和显示阵列集成在同一基板上的有机发光显示器。 所谓无源驱动有机发光显示器是指在基板周边需要外接驱动电路的有机发光显示器。 5 有机发光显示器件驱动技术 无源驱动 显示基板上的显示区域仅仅是发光象素（电极，各功能层），所有的驱动和控制功能由集成IC完成（IC 可以置于在基板外或者基板上非显示区域）。 静态驱动：各有机电致发光像素的相同电极（比如，阴极）是连在一起引出的，各像素的另一电极（比如，阳极）是分立引出的；分立电极上施加的电压决定对应像素是否发光。在一幅图象的显示周期中，像素发光与否的状态是不变的。 阴极 分立阳极 5 有机发光显示器件驱动技术 动态驱动:显示屏上象素的两个电极做成了矩阵型结构，即水平一组显示像素的同一性质的电极是共用的，纵向一组显示像素的相同性质的另一电极是共用的。如果象素可分为N行和M列，就可有N个行电极和M个列电极，我们分别把它们称为行电极和列电极。 为了点亮整屏象素，将采取逐行点亮或者逐列点亮、点亮整屏象素时间小于人眼视觉暂留极限20ms的方法，该方法对应的驱动方式就叫做动态驱动法。 5 有机发光显示器件驱动技术 有源驱动：在显示基板上的显示区域内，每个像素至少配备两个薄膜晶体管和一个电荷存储电容，用于保证 扫描寻址时，扫描一场的周期内，每个像素的发光与否的状态不变。 提高了发光亮度、减少了电极引线的功耗、提高了均匀性和寿命，使大面积高分辨率显示成为可能。 5 有机发光显示器件驱动技术 TFT-OLED与TFT－LCD比较 图（a）传统电压写入式有源驱动电路 （b）电流模式程序化像素驱动电路 a b ?Specifications of the Prototype Display Size 13 inch diagonal(264x198mm) Number of Pixels 800x600(SVGA) Pixel Pitch 0.33x0.33mm Color (CIE) R(0.66,0.34)G(0.26,0.65)B(0.16,0.06) Color Temperature (White) 9300 K Peak Intensity 3